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Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
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- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
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American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
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American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Study on line edge roughness for electron beam acceleration voltages from
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Statistical analysis of subnanometer residual disorder in photonic crystal waveguides: Correlation between slow light properties and structural properties
American Institute of Physics | 2011|Schlagwörter: electron beam lithography -
Electron Beam Lithography on Irregular Surfaces Using an Evaporated Resist
American Chemical Society | 2014|Schlagwörter: electron beam lithography -
Charge-induced pattern displacement in E-beam lithography
American Institute of Physics | 2019|Schlagwörter: E Beam Lithography -
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Nanoscale geometry assisted proximity effect correction for electron beam direct write nanolithography
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
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American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Amino-propyl-triethoxy-silane on aluminum fiducial grids for spatial-phase-locked electron-beam lithography
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
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Wiley | 2009|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
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Elsevier | 2019|Schlagwörter: E-beam lithography -
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American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
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American Institute of Physics | 2002|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
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