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Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
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- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
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Submicrometer Functionalization of Porous Silicon by Electron Beam Lithography
Wiley | 2003|Schlagwörter: Electron beam lithography, of porous silicon -
Projekt: Photonische Nanomaterialien : Kurzname: PhoNa : Abschlussbericht : Laufzeit: 01.12.2009-30.11.2014
TIBKAT | 2015|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Image-processing approach to vibration isolation of a scanning electron microscope
SPIE | 2004|Schlagwörter: electron-beam lithography -
TPI: Photonmanagement mit photonischen Nanomaterialien in optoelektronischen Systemen sowie Effizienzsteigerung photovoltaischer Elemente mit nanostrukturierten photonischen Materialien, TPII: Verstärkung der Raman-Streuung von in detergenz solubilisierten optisch aktiven Membranproteinen durch photonische Nanomaterialien und deren Anwendung in Einzelmolekülstudien : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 1.12.2009-30.11.2014
TIBKAT | 2015|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Entwicklung und Untersuchung eines Feldemitter-Kathodenarray mit einzeln adressierbaren, im fokussierten Elektronenstrahl direkt abgeschiedenen Emissionsspitzen
TIBKAT | 2006|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Ultrasensitive metal-organic cluster resist for patterning of single exposure high numerical aperture extreme ultraviolet lithography applications
SPIE | 2022|Schlagwörter: electron beam lithography -
Study of the Plasma Resistance of a High Resolution e-Beam Resist HSQ for Prototyping Nanoelectronic Devices
Springer Verlag | 2021|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Silicon nanowire field effect transistor made of silicon-on-insulator
Springer Verlag | 2012|Schlagwörter: Electron Beam Lithography -
Molecular ruler lithography using sacrificial host structures fabricated using electron beam lithography
SPIE | 2006|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Development of RAC devices fabricated using e-beam lithography for chirp transform spectrometers
TIBKAT | 2010|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Size and shape control of sub-20 nm patterns fabricated using focused electron beam-induced processing
SPIE | 2014|Schlagwörter: e-beam lithography -
Light confinement effect of nonspherical nanoscale solid immersion lenses
Freier ZugriffSPIE | 2013|Schlagwörter: electron beam lithography -
Fabrication of silicon microring resonators with narrow coupling gaps
SPIE | 2005|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Exploring the foot-width limit of T-shaped gates using bilayer resist system RE650/UV5
SPIE | 2021|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Fabrication and magnetic force microscopy (MFM) observation of nano scale ferromagnetic nanodot arrays
Online Contents | 2005|Schlagwörter: electron beam lithography -
Fabrication of templates with rectangular bits on circular tracks by combining block copolymer directed self-assembly and nanoimprint lithography
SPIE | 2012|Schlagwörter: rotary e-beam lithography -
New method of optimizing writing parameters in electron beam lithography systems for throughput improvement considering patterning fidelity constraints
SPIE | 2012|Schlagwörter: electron beam lithography -
Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke
TIBKAT | 2011|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Method to fabricate taper waveguide using fixed-beam moving stage electron-beam lithography
SPIE | 2019|Schlagwörter: e-beam lithography -
Development and irradiation performance of stencil masks for heavy-ion patterned implantation
Elsevier | 2011|Schlagwörter: Electron beam lithography
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