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Single-crystal manufacturing method and single-crystal manufacturing apparatus
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2015| -
Verfahren zum Herstellen eines Silizium-Einkristall-lngots
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2015| -
Method for measuring distance between lower end surface of heat insulating member and surface of raw material melt and method for controlling thereof
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2016| -
Single crystal production apparatus and single crystal production method having pedestal with grooves
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2016| -
Vorrichtung zum Herstellen eines Silizium-Einkristalls
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2016| -
Apparatus having heat insulating cylinder with step portion for manufacturing semiconductor single crystal
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2016| -
METHOD FOR MEASURING DISTANCE BETWEEN LOWER END SURFACE OF HEAT SHIELDING MEMBER AND MATERIAL MELT SURFACE, AND METHOD FOR CONTROLLING THE DISTANCE
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2017|
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