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The influence of structural defects on phosphorus diffusion in multicrystalline silicon
Online Contents | 2006| -
Overview of phosphorus diffusion and gettering in multicrystalline silicon
British Library Online Contents | 2009| -
Overview of phosphorus diffusion and gettering in multicrystalline silicon
British Library Conference Proceedings | 2009| -
Loading effect in SiGe layers grown by dichlorosilane- and silane-based epitaxy
Tema Archiv | 2001| -
Loading effect in SiGe layers grown by dichlorosilane- and silane-based epitaxy
NationallizenzAmerican Institute of Physics | 2001| -
High concentration in-diffusion of phosphorus in Si from a spray-on source
NationallizenzAmerican Institute of Physics | 2006|
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