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  1.  

    Anordnung und Lithographieanlage

    EICHER DIRK / HOLLE ANSAGAR | Europäisches Patentamt | 2016
  2.  

    Baugruppe einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage

    ERATH MICHAEL / EICHER DIRK | Europäisches Patentamt | 2013
  3.  

    Baugruppe einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage

    ERATH MICHAEL / EICHER DIRK | Europäisches Patentamt | 2013
  4.  

    Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8

    Eicher, Dirk / Schlaak, Helmut F. | VDE-Verlag | 2007
  5.  

    Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8

    Eicher, Dirk / Schlaak, Helmut F. | Tema Archiv | 2007
  6.  

    Bistable clamping mechanism for use in a microstructured electrothermal inchworm plattform

    Eicher, Dirk / Hamel, Stefan / Schlaak, Helmut F. | BASE | 2011
  7.  

    Repetitive avalanche of automotive MOSFETs

    Schleisser, Daniel / Ahlers, Dirk / Eicher, Mario et al. | IEEE | 2013
  8.  

    Bistable clamping mechanism for use in a microstructured electrothermal inchworm plattform

    Eicher, Dirk / Hamel, Stefan / Schlaak, Helmut F. | Tema Archiv | 2007
  9.  

    Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik

    Schlaak, Helmut F. / Jungnickel, Uwe / Eicher, Dirk | Tema Archiv | 2005
  10.  

    Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen

    Schlaak, Helmut F. / Jungnickel, Uwe / Eicher, Dirk | Tema Archiv | 2005
  11.  

    ARRANGEMENT FOR MOUNTING AN OPTICAL ELEMENT

    ERATH MICHAEL / BACH FLORIAN / SCHOENHOFF ULRICH et al. | Europäisches Patentamt | 2013
  12.  

    Arrangement for mounting an optical element

    ERATH MICHAEL / BACH FLORIAN / SCHOENHOFF ULRICH et al. | Europäisches Patentamt | 2013
  13.  

    INKOMAN - An intracorporal manipulator for minimally invasive surgery - Concept and structure

    Röse, Andreas / Kern, Thorsten A. / Eicher, Dirk et al. | Tema Archiv | 2006
  14.  

    Combined Simulation of a Micro Permanent Magnetic Linear Contactless Displacement Sensor

    Jing Gao / Wolfgang F.O. Müller / Felix Greiner et al. | DOAJ | 2010
  15.  

    Electronically reconfigurable LC-reflectarray with 2D scanning capability and SU-8 structured cavity

    Mössinger, Alexander / Gaebler, Alexander / Marin, Radu et al. | Tema Archiv | 2008
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