Piezoelektrische mikroakustische Hochfrequenzfilter werden in der Empfangs- und Sendeelektronik von mobilen Endgeräten aufgrund ihrer geringen Baugröße sowie hohen Gütefaktoren bevorzugt verbaut. Derzeit etablierte Materialien wie Aluminiumnitrid oder Lithiumniobat sind nur begrenzt für den Einsatz in Hochfrequenzfiltern der nächsten Mobilfunkgeneration - 5G - geeignet. Dies bedingt den Bedarf an neuartigen piezoelektrischen Dünnschichten. Aluminium-Scandium-Nitrid (AlScN) weist eine deutlich gesteigerte elektromechanische Kopplung im Vergleich zu Aluminiumnitrid auf. Daher ist AlScN ein vielversprechender Kandidat für den Einsatz in mikroakustischen Hochfrequenzfiltern der nächsten Mobilfunkgeneration. Bisherige Forschungen beschäftigten sich hauptsächlich mit der Herstellung und grundlegende Charakterisierung von Schichten und Bauelementen. Für die Entwicklung von kommerziellen Bauelementen wird jedoch ein vollständiger Satz an elektro-akustischen Materialparametern benötigt. Ziel dieser Arbeit ist es, zum ersten Mal einen vollen Satz an elektro-akustischen und pyroelektrischen Materialparametern allumfassend experimentell zu bestimmen. Dadurch soll der Weg zu neuartigen Bauelementen auf Basis von AlScN eröffnet werden. In dieser Arbeit wurden AlScN-Dünnschichten mit einer Dicke von etwa 1 μm Dicke und Sc-Konzentrationen zwischen 0% und 42% untersucht. Die Schichten wurden mittels reaktivem Magnetronsputtern auf Siliziumsubstrate aufgebracht und wiesen eine hochgradig c-achsenorientierte Fasertextur auf. Mittels Röntgenbeugung wurden Phasenanalysen durchgeführt, die Gitterparameter gemessen und die Dichte bestimmt. Das bereits beobachtete untypische Verhalten der Gitterparameter als Funktion des Scandiumgehalts, konnte durch eine tiefgreifende Analyse auf das Absinken des mittleren Bindungswinkels bei gleichzeitigem Anstieg der mittleren Bindungslänge zurückgeführt werden. Trotz der nichtlinearen Änderung der Gitterparameter stieg die Dichte beinahe linear an. Die dielektrische Permittivität wurde aus der Kapazität von Dünnschichtplattenkondensatoren ermittelt. Für die Bestimmung der elastischen und piezoelektrischen Eigenschaften wurden zwei Ansätze verfolgt. Im ersten Ansatz wurden die Materialparameter aus Dispersionen von akustischen Oberflächenwellenresonatoren bestimmt. Dazu wurden zunächst Dünnschicht-Oberflächenwellenresonatoren mit Wellenlängen zwischen 2 μm und 24 μm hergestellt und jeweils die serielle und parallele Resonanzfrequenz bestimmt. Die eigentliche Extraktion der elastischen und piezoelektrischen Materialparameter ergab sich durch Abgleich von experimenteller und simulierter Dispersion anhand einer Parameteranpassung eines Finite Elemente Methode Modells. Der zweite Ansatz basierte auf akustischen Volumenwellenresonatoren. Dazu wurden Balken- und Scheiben-Resonatoren mit einer Länge von 200 μm, 250 μm und 300 μm bzw. mit Radien von 50 μm, 60 μm, und 70 μm hergestellt und die Resonanzfrequenzen extrahiert. Die seriellen und parallelen Resonanzfrequenzen der Resonatoren hängen nur von wenigen Materialparametern ab. Dadurch erlaubt es dieser Ansatz, die elastischen und piezoelektrischen Materialparameter mathematisch eindeutig und mit hoher Genauigkeit zu extrahieren. Wie bereits beim ersten Ansatz wurden die Materialparameter anhand einer Parameteranpassung eines Finite Elemente Methode Modells bestimmt. Der Vergleich der mit den beiden Ansätzen ermittelten Materialparametern ergab sowohl untereinander als auch mit Literaturwerten eine gute Übereinstimmung. Der effektive pyroelektrische Koeffizient als Funktion der Scandiumkonzentration und der Temperatur wurde mithilfe der dynamischen Sharp-Garn-Methode bei niedrigen Frequenzen von 10 mHz gemessen. Aus dem effektiven pyroelektrischen Koeffizienten konnten die intrinsischen pyroelektrischen Koeffizienten mithilfe der zuvor bestimmten elastischen und piezoelektrischen Materialparameter und den semi-experimentellen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten berechnet werden. Eine nichtlineare Abhängigkeit der dielektrischen, elastischen und piezoelektrischen Materialparameter wurde beobachtet und bestätigte theoretische Vorhersagen von Berechnungen auf Basis der Dichtefunktionaltheorie. Abgesehen von c₁₃, sanken die Koeffizienten der elastischen Steifigkeit, wohingegen die polarisationsabhängigen Materialparameter, wie die dielektrische Permittivität, die piezoelektrischen und pyroelektrischen Parameter anstiegen, umso mehr Scandium in den Kristall eingebracht wurde. Es wurde betont, dass die relativen Änderungen von Materialparametern senkrecht zur polaren Achse signifikant schwächer ausgeprägt sind als solche parallel zur polaren Achse. Um die anisotrope Natur von AlScN zu erklären, wurde ein Federmodell entwickelt, mit dem gezeigt wurde, dass die Änderungen in der Bindungsgeometrie primär die Entwicklung der Materialparameter als Funktion der Scandiumkonzentration bestimmt. Außerdem konnte das Modell den Anstieg der piezoelektrischen und pyroelektrischen Koeffizienten in Übereinstimmung mit bereits bestehenden Dichtefunktionaltheorie-Modellen erklären. ; Due to their small size and high quality factors, piezoelectric microacoustic high-frequency filters are preferred for use in the reception and transmission electronics of mobile communication devices. Currently established materials such as aluminum nitride or lithium niobate are only suitable to a limited extent for use in high-frequency filters of the next generation mobile phone standards - 5G. This creates the need for novel piezoelectric thin films. Aluminium scandium nitride (AlScN) has a significantly increased electromechanical coupling compared to aluminium nitride and is therefore a promising candidate for the usage in next generation microacoustic high-frequency filters. Previous research has mainly focused on the fabrication and basic characterization of thin films and devices. For the development of commercial devices, however, a complete set of electro-acoustic material parameters is required. The aim of this work is to experimentally determine the a full-set of electro-acoustic and pyroelectric material parameters in a holistic approach for the first time. This should open the way to novel devices based on AlScN thin films. In this work wurtzite AlScN thin films with a thickness of about 1 µm and Sc concentrations between 0 % and 42 % were investigated. The layers were deposited on silicon substrates by reactive magnetron sputtering and had a highly c-axis oriented fiber texture. By means of X-ray diffraction, phase analysis was performed, lattice parameters were measured, and density was determined. The previously observed atypical behaviour of the lattice parameters as a function of the scandium concentration could be attributed to a decrease of the average bond angle with a simultaneous increase of the average bond length by an in-depth analysis of the bond geometry. Despite the the non-linear change in the lattice parameters, the density increased almost linearly. Dielectric permittivity was determined from the capacitance of thin film plate capacitors. Two approaches were used to determine the elastic and piezoelectric properties. In the first approach, the material parameters were determined from dispersions of surface acoustic wave resonators. First, thin film surface acoustic wave resonators with wavelengths between 2 µm and 24 µm were fabricated and the serial and parallel resonance frequencies were determined. The actual extraction of the elastic and piezoelectric material parameters was performed by fitting the simulated with the experimental dispersion by means of parameter adaptation of a finite element method model. The second approach was based on bulk acoustic wave resonators. Therefore, bar- and disk shaped resonators with length of 200 µm, 250 µm, and 300 µm and radii of 50 µm, 60 µm, and 70 µm, respectively, were fabricated and resonant frequencies extracted. The serial and parallel resonant frequencies depend on only a few material parameters and this approach allowed a mathematically unique way to extract elastic and piezoelectric material parameters with high accuracy. Alike the first approach, the material parameters were obtained by parameter adaptation of a finite element method model. The comparison of the material parameters determined in this work using the two different approached showed good agreement both with each other and with literature values. The effective pyroelectric coefficient as a function of Sc concentration and temperature was measured at low frequencies of 10 mHz using the dynamic Sharp-Garn method. From the effective pyroelectric coefficient, the intrinsic pyroelectric coefficients could be calculated using the previously determined elastic and piezoelectric material parameters and semi-experimental coefficients of thermal expansion. Non-linear dependence on Sc concentration was observed for the dielectric, elastic, and piezoelectric material parameters, confirming theoretical predictions based on density function theory calculations. The elastic stiffness except for c₁₃ decreased, whereas the polarization-dependent material parameters, e. g. the dielectric permittivity, the piezoelectric, and pyroelectric parameters increased the more Sc was incorporated into the crystal. It was highlighted that the relative change of material parameters perpendicular to the polar axis is significantly weaker than the change of material parameters parallel to the polar axis. To explain the anisotropic nature of AlScN, a material spring model was developed, where the changes in bond geometry were shown to play a major role in how the material parameters evolve as a function of Sc concentration. The model could also be used to explain the strong increase in piezoelectric and pyroelectric coefficients in accordance with existing density functional theory models.