Vergleich zweier chemischer Gasphasenabscheidungsprozesse mit den Precursoren [H2AlOtBu]2 und [Cl2AlH*2nmp] (German)
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2012
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Title:Vergleich zweier chemischer Gasphasenabscheidungsprozesse mit den Precursoren [H2AlOtBu]2 und [Cl2AlH*2nmp]
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Additional title:Comparison of two chemical vapour deposition process with the precursors [H2AlOtBu]2 and [Cl2AlH*2nmp]
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Contributors:Dufloux, Cecile ( author ) / Universität Des Saarlandes ( host institution )
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Publisher:
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Publication date:2012
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DOI:
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Type of media:Miscellaneous
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Keywords:
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Classification:
DDC: 540 -
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