STEUERUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ANSTEUERUNG EINER IMPEDANZANPASSUNGSSCHALTUNG FÜR EIN PLASMAERZEUGUNGSSYSTEM SOWIE EIN SOLCHES PLASMAERZEUGUNGSSYSTEM (German)
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2024
- Patent / Electronic Resource
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Title:STEUERUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ANSTEUERUNG EINER IMPEDANZANPASSUNGSSCHALTUNG FÜR EIN PLASMAERZEUGUNGSSYSTEM SOWIE EIN SOLCHES PLASMAERZEUGUNGSSYSTEM
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Additional title:CONTROL DEVICE AND METHOD FOR ACTUATING AN IMPEDANCE-MATCHING CIRCUIT FOR A PLASMA PRODUCTION SYSTEM AND PLASMA PRODUCTION SYSTEM OF THIS KIND
DISPOSITIF DE COMMANDE ET PROCÉDÉ D'ACTIONNEMENT DE CIRCUIT D'ADAPTATION D'IMPÉDANCE POUR UN SYSTÈME DE PRODUCTION DE PLASMA ET SYSTÈME DE PRODUCTION DE PLASMA DE CE TYPE -
Patent number:WO2024023244
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Patent applicant:
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Patent family:
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Contributors:MAIER FLORIAN ( author )
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Publisher:
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Publication date:2024-02-01
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Type of media:Patent
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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- Further information on International Patent Classification
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Classification:
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Source: