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Das ESCA-Verfahren stellt eine neue physikalische Untersuchungsmethode dar, die mit einer Nachweisempfindlichkeit von etwa 1% auf alle Elemente ausser H, He anwendbar ist. Es beruht auf dem Photo- und dem Augereffekt. Das ESCA-Spektrum gibt Auskunft ueber die absolute Lage des Energieniveaus eines Atoms. Man erhaelt eine Information ueber die Elektronendichte in der Umgebung eines Kerns und kann so eine Aussage z. B. ueber Oxidationszustand und Wertigkeit machen. Die Information eines ESCA-Spektrums stammt bei Anregung mit weicher Roentgenstrahlung aus einer Oberflaechenschicht von maximal 100 A Dicke. Die Methode ist daher zur Oberflaechenanalyse z. B. bei der Vorbehandlung von Folien oder Blechen, bei Adsorptions-, Passiv- oder Ausruestungsschichten, in der Katalyse und Galvanik geeignet.