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Fuer chemische spektroskopische Analysen von Festkoerper-Oberflaechen wurde eine neuartige Spektroskop-Kombination entwickelt. Durch die Verbindung des Elektronensystems mit dem Augersystem liessen sich hohe Lumineszenzen und gute Messempfindlichkeiten erreichen. Man benutzte dazu einen Zweiweg-Zylinderspiegel-Analysator mit Verzoegerungsgittern. Es ist damit moeglich, die Pruefflaeche kleinzuhalten, um so selektive Analysen durchfuehren zu koennen. Die Prueflingsabmessungen der Oberflaechenrauhigkeiten beeinflussen den Analysator nicht. Die Erfassung von Tiefenprofilen liess sich erleichtern. Das Aufloesungsvermoegen und die Messgenauigkeit werden an einem aufgezeichneten Spektrum einer reinen vergoldeten Oberflaeche gezeigt.