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Die Arbeit befasst sich mit der Bestimmung der Zuverlaessigkeit anwenderprogrammierbarer Festwertspeicher sowie der Qualitaet und Zuverlaessigkeit ihrer Programmierung. Betrachtet werden loeschbare Festwertspeicher nach dem Prinzip der Ladungsspeicherung (Floating-Gate-Speicher) und nichtloeschbare Fusible-Link-Speicher. Ausgehend von den Fehlermechanismen, die zu Datenverlust in solchen Speicherelementen fuehren, und dem Zusammenhang mit dem Rauschverhalten dieser Bauelemente wird ein Modell zur Beschreibung der zeitlichen Abhaengigkeit der Programmierqualitaet bei Floating-Gate-Speichern vorgestellt, das die relative Vorhersage des Ausfallzeitpunktes nach einer rasch durchfuehrbaren belastungsfreien Messung am Anwenderprojekt ermoeglicht. Ferner wird beschrieben, wie damit auch unzuverlaessig programmierbare Speicherzellen in EEPROMs anhand einer ebenfalls belastungsfreien Messung erkannt werden koennen. Fuer Fusible-Link-Speicher wird eine Methode beschrieben, die nach der Programmierung das Erkennen unzuverlaessig programmierter Speicherzellen ohne zeitraubenden Burn-In absolut sicher erlaubt. Auch diese Messung ist mit geringem Zeitaufwand und ohne lebensdauerverkuerzendem Stress durchfuehrbar und kann daher direkt am Anwenderprojekt durchgefuehrt werden. Das zur Durchfuehrung dieser Messungen geeignete Messgeraet wird beschrieben und seine Messgenauigkeit angegeben. Die aufgestellten Modelle zur Zuverlaessigkeitsbestimmung werden anhand praktischer Messungen bestaetigt, und es werden Moeglichkeiten fuer den praktischen Einsatz der beschriebenen Messverfahren bei Hersteller und Anwender aufgezeigt.