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Der Artikel behandelt die vielschichtigen Aspekte der Mikrozerspanung mikrostrukturierter Bauteile und berichtet über eine Maschinenentwicklung des Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie (IPT) in Aachen zu ihrer Bearbeitung auf Ultrapräzisionsbearbeitungsmaschinen. Die dreiachsige Maschine verfügt über einen luftgelagerten Kreuzschlitten, der auf einem schwingungsisolierten Granitbett verfährt. Das Schlittensystem wird in X-Richtung von einem Reibradantrieb submikrometergenau positioniert. Der Z-Schlitten wird von einem Torquemotor und einer Kugelumlaufspindel angetrieben, der nadelgelagerte Y-Schlitten wird von einem DC-Scheibenläufermotor und einer Planetengewindespindel positioniert. Als Wegmeßsysteme sind für alle Linearachsen hochauflösende Laserinterferometer im Einsatz. In den Einzelheiten werden die technischen Merkmale und Leistungsdaten beschrieben. Zur Zeit wird eine weitere Maschine zur UP-Fräs- und Hobelbearbeitung für Bauteile mit einer maximalen Größe von 1m mal 1m aufgebaut, die zur Bearbeitung großflächiger Abformwerkzeuge für optische Bauelemente eingesetzt wird. Die Maschine ist mit hydrostatischen Linearführungen und hydrostatischer Rundachse sowie offenen inkrementalen Längenmeßsystemen und einem hochauflösenden Laserinterferometer für die Y-Achse ausgestattet. Bei den weiteren Versuchs- und Entwicklungsarbeiten stehen die Ermittlung der Standzeiten der verwendeten Diamantwerkzeuge sowie ihr schneller und präziser Werkzeugwechsel im Vordergrund. Einige Abbildungen zeigen die Konzeption und ausgeführte Entwicklungen von UP-Bearbeitungsmaschinen.