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Gegenstand der Arbeit war die Modellierung von vielfach gekoppelten Leiterstrukturen (MCS) für den CAD-Schaltungsentwurf im Hochfrequenzbereich. Dazu wurden systematisch die Querschnitts- und Netzwerkparameter von MCS aus der Lietartur ermittelt und zueinander äquivalente Parametersätze identifiziert. Die Querschnittsparameter wurden nach Phasen- und Modenraumparametern mit Unterscheidung nach Ausbreitungs- und Belagsparametern klassifiziert. In allgemeiner Form wurde die Äquivalenz der beiden Parameterklassen bei bekannter MCS-Länge herausgestellt und mit Hilfe der Programme Modes-to-Nodes und Nodes-to-Modes auch numerisch überprüft. Die Berechnung der Ausbreitungsparameter mittels Störungsrechnung und mittels strenger feldtheoretischer Rechnung ergibt gleiche Resultate, wenn die innere Induktivität des Leiters vernachlässigt werden kann. Für die querschnittsorientierte Modellierung von Luftbrücken und Source-Vias im aktiven Bereich verteilter Transistoren wurde das Konzept irregulärer MCS untersucht. Eine irreguläre MCS setzt sich aus einer regulären MCS und einem im Querschnitt wirksamen Fremdvorgang zusammen. Für die Layout-orientierte Modellierung verteilter Transistoren wurde weiter ein bestehendes MCS-Modell durch Berücksichtigung von verteilten Source-Vias und Luftbrücken im aktiven Bereich erweitert. Die Funktionalitätserweiterungen wurden in das Netzwerksimulatormodell AMCLIN implementiert, welches als Modul AMLINAB2 Bestandteil eines kommerziellen Simulators zur verteilten Transistormodellierung ist. Für Transistoren mit mehr als 80 Fingerelektroden im aktiven Bereich wurden schließlich zwei neue Beschleunigungsverfahren für die MCS-Simulation entwickelt und implementiert.