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Folienpräsentation. Bei der CVD-Beschichtung zur Herstellung von Dünnschicht-Solarzellen aus amorphem und mikrokristallinem Silicium (a-Si- und micro-c-Si-Dünnschicht) fallen folgende kritischen Prozessgase an: (1) Silan: brennbar, selbstentzündlich. (2) Wasserstoff: weiter Explosionsbereich, hohe Flammengeschwindigkeit. (3) Fluor: sehr reaktiv, korrosiv, und toxisch. (4) NF3: klimaschädlich. Stand der Technik zur Prozessgasentsorgung ist Verbrennen und Waschen. Technische Herausforderungen sind wie folgt aufgelistet: (1) Große Mengen an Feinstaub im sub-Mikrometerbereich müssen zurückgehalten werden durch effiziente, sichere und kostengünstige Filterung. (2) Lange Leitungslängen mit Leckagen oder Verblockungen erfordern Möglichkeiten zur Reinigung und eine möglichst kurze Distanz zwischen Werkzeug, Pumpstand und Entsorgung. (3) Fluoridhaltiges Abwasser ist wassergefährdend. Die Dimension der Abwasserbehandlung (Fluoridfällung und Staubabscheidung) wird hauptsächlich durch die Abgasbehandlung bestimmt. Möglichkeiten zur effizienten Staubabscheidung (von Sedimentation über Vortex-Scrubber bis elektrische Filter) werden nach Partikeldurchmesser klassifiziert. Für die Abgas- und Abwasserbehandlung sowie für eine optimierte Abwasserbehandlung sind Fließbilder angegeben.