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Die Präzisionsbearbeitung mit Laserstrahlung gewinnt insbesondere im Bereich der Prototypenfertigung, bei der Maskenherstellung für die Mikroelektronik sowie der Düsenherstellung für sprühtechnische Anwendungen zunehmend an Bedeutung. Die erforderliche hohe Ortsauflösung sowie die Forderung nach minimalem thermischen Eintrag ins Substrat, lassen Kupferdampflaser und frequenzverdoppelte Festkörperlaser als geeignet erscheinen. Zielsetzung war es daher diese Lasertypen anhand ihrer Bearbeitungsergebnisse und in bezug auf ihre Handhabung miteinander zu vergleichen. Dabei konnte die Eignung des Kupferdampflasers und des frequenzverdoppelten Nd:YAG-Lasers für die Mikromaterialbearbeitung ohne thermische Degradation nachgewiesen werden. Aufgrund der leichteren Skalierbarkeit der Ausgangsleistung beim Kupferdampflaser eignet sich dieser jedoch auch für die Behandlung von Werkstoffen, die in einem Dickenbereich bis zu 6 mm liegen. Insbesondere für Schneidaufgaben war der frequenzverdoppelte Festkörperlaser mit seiner geringen mittleren Ausgangsleistung nicht sinnvoll anwendbar. Obwohl der Kupferdampflaser noch nicht den Stand der Zuverlässigkeit heute industriell eingesetzter Infrarotlaser erreicht hat, zeigten die Bearbeitungsergebnisse, daß dessen Weiterentwicklung für die Materialbearbeitung lohnenswert ist.