Composition and structure of titanium carbonitride thin film synthesized by ion implantation (English)
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In:
European Materials Research Society Spring Conference, 1995
;
53-56
;
1996
-
ISSN:
- Conference paper / Print
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Title:Composition and structure of titanium carbonitride thin film synthesized by ion implantation
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Additional title:Zusammensetzung und Struktur von durch Ionenimplantation erhaltenen Titancarbonitrid-Dünnschichten
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Contributors:Guemmaz, M. ( author ) / Mosser, A. ( author ) / Grob, J.J. ( author ) / Sens, J.C. ( author ) / Stuck, R. ( author )
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Published in:Surface and Coatings Technology ; 80, 1-2 ; 53-56
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Publisher:
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Publication date:1996
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Size:4 Seiten, 6 Bilder, 15 Quellen
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ISSN:
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Coden:
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DOI:
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Type of media:Conference paper
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Type of material:Print
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Language:English
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Keywords:Titan , Carbonitrieren , Ionenimplantation , Strahlendosis , Ion , Kohlenstoff , Stickstoff , Oberflächenschicht , chemisches Aufdampfen , Verfahrensparameter , Strukturanalyse , Sekundärionenmassenspektrometrie , Rückwärtsstreuung , chemische Zusammensetzung , Kristallorientierung , Kristallstruktur , Korngröße , Gitterkonstante , Röntgenstrukturanalyse , Bindungsenergie
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Source: