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Bei der konventionellen Laminographie (auch Verwischungstomograpie) werden Röntgenquelle und Detektor bei feststehendem Prüfobjekt derart koordiniert bewegt, daß nur eine ausgewählte Schicht des Objekts scharf abgebildet wird, die darüber- und darunterliegenden Schichten hingegen verschwommen. Für das geforderte hohe Auflösungsvermögen bei der Qualitätsprüfung von elektronischen, flächig ausgedehnten Schichtstrukturen ist dieses Verfahren nicht ausreichend. Berichtet wird daher über eine neuentwickelte Einrichtung der Computerlaminographie (CL), die flächige Objekte unabhängig von ihrer Größe mit einer Schichtauflösung bis zu 100 Mikrometer abbildet. Hier stehen Zeilendetektor und kegelförmiges Strahlenfeld der Röntgenröhre fest, während das Objekt senkrecht zum Hauptstrahl bewegt wird. Dabei wird an diskreten Positionen dieser Translationsbewegung die Röntgenabsorption gemessen, digitalisiert und entsprechend den Abbildungsgesetzen zu einem Absorptionsbild des Objekts zusammengesetzt, das identisch mit einer CT-Aufnahme bei parallelen Strahlen ist. Für die Bildrekonstruktion können die aus der CT bekannten Algorithmen verwendet werden. Im Beitrag wird nach der Verfahrensbeschreibung die Abhängigkeit des axialen Auflösungsvermögens vom Öffnungswinkel der Fächerstrahlen diskutiert. Es wächst mit dem Öffnungswinkel und erreicht bei theoretischen 90 Grad das Auflösungsvermögen einer CT-Aufnahme. Auch die Anzahl N der Projektionen beeinflußt die axiale Auflösung, die bei N kleiner als 32 deutlich abnimmt. Die Anwendungsbeispiele sind eine 20 mm dicke Aluminiumplatte mit zwei senkrechten Sägeschnitten unterschiedlicher Tiefe und Breite und die Vorder- und Rückseite einer zweischichtigen Platine mit ca 15 mm Schichtabstand. Besonderer Vorteil ist die Möglichkeit, Objektausschnitte zu rekonstruieren. (Völkel)