Modellierung, Optimierung und experimentelle Verifizierung piezoelektrischer Biegeaktoren für Mikropumpen (German)
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In:
MikroSystemTechnik
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4
;
2009
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ISBN:
- Conference paper / Electronic Resource
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Title:Modellierung, Optimierung und experimentelle Verifizierung piezoelektrischer Biegeaktoren für Mikropumpen
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Contributors:
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Conference:MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009 ; 2009 ; Berlin
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Published in:
-
Publisher:
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-
Publication date:2009-01-01
-
Size:4 pages
-
ISBN:
-
Type of media:Conference paper
-
Type of material:Electronic Resource
-
Language:German
-
Source:
Table of contents conference proceedings
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Großflächiges Mikrospiegelsystem zur TageslichtlenkungJäkel, Andreas / Li, Qingdang / Viereck, Volker / Hillmer, Hartmut et al. | 2009
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Aktives Greifkonzept zur Montage hybrider Mikrosysteme mit SchmelzklebstoffenRathmann, Sven / Blumenthal, Philipp / Hemken, Gregor / Raatz, Annika et al. | 2009
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Elektromagnetisches Wandlerarray aus 3D Mikrospulen und einer magnetischen PDMS MembranMack, B. / Kratt, K. / Stürmer, M. / Lausecker, R. / Wallrabe, U. et al. | 2009
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Konzept und Modellierung eines piezoelektrischen 3D-Tastelementes auf Basis von Aluminiumnitrid-DünnschichtenPolster, Tobias / Hoffmann, Martin et al. | 2009
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CMOS-integrierte Wandlerschaltung zur optimierten Leistungsentnahme aus PiezogeneratorenHehn, Thorsten / Manoli, Yiannos et al. | 2009
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Bistabiles Schalten mit einem thermoelektrisch getriebenen thermopneumatischen AktuatorHuesgen, T. / Ruhhammer, J. / Woias, P. et al. | 2009
- 1
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Aktive miniaturisierte Langasit-Strukturen für Anwendungen oberhalb von 600 Grad CSauerwald, Jan / Richter, Denny / Ansorge, Erik / Schmidt, Bertram / Fritze, Holger et al. | 2009
- 1
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CMOS Post-Processing für kompakte, intelligente MikrosystemeVogt, Holger et al. | 2009
- 37
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Herstellung von 3D-Mikrospulen in einem effizienten MST-ProzessKratt, K. / Badilita, V. / Burger, T. / Korvink, J. / Wallrabe, U. / Mohr, J. / Borner, M. et al. | 2009
- 852
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Magnetisch bistabiles Mikroaktorsystem mit elektrothermischem AntriebStaab, M. / Dassinger, F. / Schlosser, M. / Schlaak, H. et al. | 2009
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Design, Fertigung und messtechnische Untersuchungen eines MikroreluktanzaktorsHansen, S. / Bütefisch, S. / Gatzen, H. H. et al. | 2009
- 1
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Entwicklung einer hermetischen Glas-Silizium Verkapselung als Gehäuse für integrierte Lithium Polymer BatterienMarquardt, K. / Hahn, R. / Blechert, Martin / Lehmann, Marco / Wilke, Martin / Reichl, Herbert et al. | 2009
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CMOS kompatible RF MEMS SchalterKlein, S. / Bittner, A. / Schmid, U. / Seidel, H. et al. | 2009
- 1
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Hochauflösender flüssigkeitsbasierter kapazitiver NeigungssensorSchwenck, A. / Fries, A. / Fritz, K.P. / Kück, H. / Mayer, V. / Pojtinger, A. / Remer, U. et al. | 2009
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TMR-Schichtsysteme für SensoranwendungenGerken, Anna / Paul, Johannes / Negulescu, Beatrice / Duret, Christophe et al. | 2009
- 816
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Embedding Technology Development for a 77 GHz Automotive Radar SystemBecker, K.-F. / Koch, M. / Kahle, R. / Braun, T. / Bottcher, L. / Ostmann, A. / Kostelnik, J. / Ebling, F. / Noack, E. / Sommer, J.P. et al. | 2009
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Breitbandige LGA-Übergänge von Leiterplatte zu LTCC für Frequenzen bis 67 GHzSchulz, Alexander / Rentsch, Sven / Müller, Jens et al. | 2009
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Flip-Chip Technologie mit neuartigen UBM für die Ankontaktierung von Transistoren in III/V-TechnologieZhytnytska, R. / Sidorov, V. / Würfl, J. et al. | 2009
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Normal-geschlossene Mikropumpe mit fluidischem Einwegchip und wiederverwendbarer AktoreinheitTrenkle, Fabian / Haeberle, Stefan / Zengerle, Roland et al. | 2009
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Multi Axial Force Sensor for Coordinate Measuring MachineTibrewala, A. / Phataralaoha, A. / Büttgenbach, S. et al. | 2009
- 1
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Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische AnwendungenKovacs, A. / Jonnalagadda, P. / Meng, X. / Mescheder, U. et al. | 2009
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Bondenergie-Messung in situ während des Temperns beim Direktbonden von Glas und SiliziumEichler, Marko / Michel, Benedikt / Hennecke, Philipp / Klages, Claus-Peter et al. | 2009
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Wellenleiterkoppler für die mikrointerferometrische AktorregelungKornfeld, Andreas / Kolleck, Christian / Ostendorf, Andreas et al. | 2009
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Kontaktierung von Mikrosystemen auf Textilien durch isotrop elektrisch leitfähige Schmelzklebstoffdispersionen (ICHMD)Schilling, Andrej von / Hemken, Gregor / Böhm, Stefan et al. | 2009
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pH- Messung mit Iridiumoxid-beschichteten MikroelektrodenWirths, W. / Wiest, J. / Remm, M. / H. Grothe / Wolf, B. et al. | 2009
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Magnetische Mikrosysteme für WandleranwendungenGatzen, Hans-Heinrich / Ruffert, Christine / Wurz, Marc Christopher / Flick, Eva et al. | 2009
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Mikrotechnischer Strömungssensor - für den Einsatz in rauer UmgebungAshauer, M. / Billat, S. / Ashauer, H. / Lust, L. / Storz, M. / Kattinger, G. / Hedrich, F. / Zengerle, R. et al. | 2009
- 381
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Ein Mikromassenspektrometer mit integrierter MikrokanalplatteReinhardt, M. / Hauschild, J.-P. / Wapelhorst, E. / Muller, J. et al. | 2009
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FreshScan – Portables optisches Messsystem zur Überwachung des Frischegrades von FleischThomasius, Rolf / Kim, Jin-U. / Nestler, Volker / Reichl, H. / Jordan, Grace / Schröder, Henning / Lang, K.-D. / Maiwald, Martin / Sumpf, Bernd / Schmidt, Heinar et al. | 2009
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Konzept und Herstellprozess für neuartige elektrostatische Torsionsaktoren aus SiliziumFritz, J. / Pinter, S. / Friese, C. / Pirk, T. / Seidel, H. et al. | 2009
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Neue Methode zur Kontaktierung isolierter MikrodrähteMeiß, Thorsten / Roßner, Tim / Minamisava, Carlos / Werthschützky, Roland et al. | 2009
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Druckverfahren zur Herstellung elektrochemischer EnergiespeicherWillert, Andreas / Geyer, Ulrike / Kreutzer, André / Baumann, Reinhard R. et al. | 2009
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Drahtloses Auswertesystem für kapazitive SensorenNopper, Reinhard / Niekrawietz, Remigius / Reindl, Leonhard Michael et al. | 2009
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Aktive intravaskuläre Magnetresonanz-Sonde auf Basis einer optischen SignalübertragungFandrey, Stephan / Weiss, Steffen / Müller, Jörg et al. | 2009
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Trends in der Aufbau- und Verbindungstechnik von MikrosystemenWilde, Jürgen et al. | 2009
- 1
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New SiC pressure-sensor-technologies for harsh environmentsBehnel, N. / Fuchs, T. / Seidel, H. et al. | 2009
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Diodenlaser basierte Mikrosystemlichtquellen für die in-situ Raman-SpektroskopieMaiwald, Martin / Sumpf, Bernd / Erbert, Götz / Tränkle, Günther et al. | 2009
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Dünnfilmtechnische Herstellung eines rotierenden SynchronmotorsPape, F. / Creutzburg, T. / Traisigkhachol, O. / Gatzen, H. H. et al. | 2009
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Neue Wege – Kontaktierung von Lichtwellenleitern mittels DrahtbondenSchmitz, Stefan / Oppermann, Hermann / Schröder, Henning / Reichl, Herbert et al. | 2009
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Polarisationsempfindliche Photodioden und Bildsensoren mit integrierten Nanostrukturen in Standard-CMOSJunger, Stephan / Tschekalinskij, Wladimir / Verwaal, Nanko / Spinnler, Klaus / Weber, Norbert et al. | 2009
- 1
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Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-IntegrationMescheder, U.M. / Kovacs, A. / Jonnalagadda, P. / Nimo, A. et al. | 2009
- 856
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Auslenkbare SiO~2-Membranen zur Abstimmung von Si-NanowiresAmthor, J. / Horn, O. / Lipka, T. / Savov, A. / Muller, J. et al. | 2009
- 1
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Herstellung und Evaluierung nanoskaliger reaktiver Strukturen für den Einsatz von Niedertemperatur-Bondverfahren in der MikrosystemtechnikBräuer, J. / Hofmann, L. / Baum, M. / Wiemer, M. / Geßner, T. et al. | 2009
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Fertigung von Hybriddruckköpfen aus Silizium und KunststoffKalkandjiev, Kiril / Zengerle, Roland / Koltay, Peter et al. | 2009
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Dünnschichtsensorik auf Titandioxidbasis zur Messung von Sauerstoffkonzentrationen bei niedrigen TemperaturenBiehl, Saskia / Hauschild, Frank / Wolf, Lisa et al. | 2009
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Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Nanokomposite als Sensorschichten für die Kraft- und DrucksensorikKoppert, R. / Göttel, D. / Probst, A.-C. / Freitag-Weber, O. / Schultes, G. / Werner, U. et al. | 2009
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Untersuchung eines Mikroplasmas für die Anwendung in einem MikromassenspektrometerWong, R. Miguel Ramírez / Hauschild, J. P. / Wapelhorst, E. / Müller, J. et al. | 2009
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Waferlevel-Vakuum gekapselte 2D-Mikrospiegel-Scanner für kompakte Laserprojektions-Displays im AutomobilHofmann, Ulrich / Baumann, Sönke / Oldsen, Marten / Janes, Joachim / Wagner, Bernhard et al. | 2009
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Dosiersystem zur kontaminationsfreien Handhabung von FlüssigkeitenFritz, K.-P. / Grözinger, T. / Kück, H. / Mayer, V. / Mohr, R. / Schober, M. / Wolter, F. et al. | 2009
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Frequenzstimmbare Generatoren zur Energiegewinnung aus Umgebungsvibrationen mit variablen VibrationsfrequenzenEichhorn, Christoph / Goldschmidtböing, Frank / Woias, Peter et al. | 2009
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Taktile Messtechnik an Mikrobohrungen mit hohem AspektverhältnisPeiner, Erwin / Doering, Lutz / Stranz, Andrej et al. | 2009
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Parylen C basierte organische Schaltungen für Applikationen in ImplantatenFeili, D. / Schuettler, M. / Seidel, H. / Stieglitz, T. et al. | 2009
- 888
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Der Nanoklettverschluss als Verbindungselement in der Nanopositionier- und NanomesstechnikHoffmann, M. / Wystup, C. et al. | 2009
- 1
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Selbstorganisierte Nanostrukturen in Kieselglas für neue Technologiekonzepte in MEMS, MOEMS und BioMEMSLilienthal, Katharina / Fischer, Michael / Stubenrauch, Mike / Schober, Andreas et al. | 2009
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Thermodynamischer Neigungs- und Beschleunigungssensor Inclinos zur gleichzeitigen Erfassung der Lage und Beschleunigung im RaumJunge, Stefan / Suft, Winfried / Gerlesberger, Peter / Salzberger, Frank / Plöchinger, Heinz et al. | 2009
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Dünnschichtsensorik zur Prozessüberwachung in StanzprozessenBiehl, Saskia / Staufenbiel, Sebastian / Weber, Martin / Woitschach, Ole / Kräusel, Verena / Mintenbeck, Dieter / Merz, Jürgen et al. | 2009
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Thermooptisch verstimmbare Bragg-Reflektoren aus neuartigen organisch-/ anorganischen SchichtsystemenWeinberger, S. / Lukman, D. / Hoffmann, M. et al. | 2009
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Autonom arbeitende Funktionsstrukturen für die Tropfenbasierte Mikrofluidik – Entwurf, Simulation und FunktionsanalyseKielpinski, M. / Malsch, D. / Mayer, G. / Henkel, Th. et al. | 2009
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Verfahren und System zur kontaktfreien und medienunabhängigen Volumenbestimmung in DosierprozessenGötz, Martin / Ashauer, Matthias / Zengerle, Roland et al. | 2009
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Hochintegriertes Polymer-basiertes Ventil-Sensor-SystemBarth, J. / Bonamarte, M. / Grund, T. / Krevet, B. / Ahrens, R. / Kohl, M. et al. | 2009
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Langzeituntersuchungen zur Eignung von SU-8 als KonstruktionswerkstoffKohlstedt, A. / Staab, M. / Schlaak, H. F. et al. | 2009
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Entwicklung eines mikrofluidischen Analysesystems zur Absorptions- und FluoreszenzmessungDornbusch, K. / Schimmelpfennig, M. / Feller, K.-H. et al. | 2009
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Paramagnetischer Sauerstoffsensor in MikrosystemtechnikVonderschmidt, S. / Muller, J. et al. | 2009
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Hochgenaue Mehrfachmontage von großen opto-mechanischen BaugruppenSchachler, Ralph / Rogge, Martin et al. | 2009
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Chipintegrierte PEM-Brennstoffzellenkaskaden als On-Chip EnergieversorgungErdler, G. / Uhl, L. / Kuhl, M. / Manoli, Y. / Frank, M. / Müller, C. / Reinecke, H. et al. | 2009
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Solare Wasserstoffgewinnung für MikrobrennstoffzellenBretthauer, C. / Domke, J. / Müller, C. / Reinecke, H. et al. | 2009
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Solid-Liquid-Interdiffusion Bonding für 3D-Integration und Wafer-Level-PackagingBaum, M. / Hofmann, L. / Wiem, M. / Geßner, T. et al. | 2009
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CMOS Stressmesssystem zur Charakterisierung von Belastungen auf MEMS BauteileUnterhofer, Katrin / Schreier-Alt, Thomas / Schindler-Saefkow, Florian / Ansorge, Frank / Kittel, Hartmut et al. | 2009
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Tubenfunktionsmessungen mit hochflexiblen Folien-DMS auf dem TrommelfellSaß, Wiebke / Zehlicke, Thorsten / Moß, Christian / Müller, Jörg et al. | 2009
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Lötzinndruck für die Flip-Chip BestückungKeßling, O. / Schink, M. / Irlinger, F. / Lüth, T. C. et al. | 2009
- 1
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Erhöhung der Temperaturstabilität von Dünnschicht-Thermoelementen durch Implementierung einer Diffusionsbarriere aus TiNBuchner, Rainer / Sosna, Christoph / Lang, Walter et al. | 2009
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Robotergestütztes Mess- und Handlingsystem für Qualitätsmessungen an MikroteilenBattenberg, Günther / Kremper, Alexander et al. | 2009
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PDMS-Mikrokomponenten für die Abtrennung von Biomasse zur Integration in Lab-on-a-Chip SystemenDemming, S. / Balck, A. / Emeis, R. / Al-Halhouli, A. T. / Büttgenbach, S. et al. | 2009
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Mikro-Hysteresemesssensor zur Vermessung anisotroper DünnfilmeFlick, Eva / Feindt, Karsten / Gatzen, Hans Heinrich et al. | 2009
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Entwicklung und Charakterisierung eines Prozesses zur Herstellung von Mikrolinsen mittels Lithographie, RIE und UV-AbformungMoser, Dominik / Heinrich, Marina / Schuster, Christine / Klukowska, Anna / Schmidt, Andreas et al. | 2009
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Materialien für Polymere MEMS – Dielektrische ElastomeraktorenBöse, Holger / Rawinski, Viktoria / Uhl, Detlev / Reichert, Yanina et al. | 2009
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Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für FestplattenspeicherSaalfeld, H. / Dinulovic, D. / Gatzen, H.H. et al. | 2009
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Blasformen von Mikrofluidikstrukturen für Lab-on-Foil AnwendungenFocke, Maximilian / Faltin, Bernd / Müller, Claas / Zengerle, Roland / Stetten, Felix von et al. | 2009
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Ermittlung von mechanischen Defekten in Mikrosystemen anhand dynamischer Messungen für die ProduktionsüberwachungGerbach, Ronny / Petzold, Matthias et al. | 2009
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Piezoresistive Dünnschichtsensorik integriert in Unterlegscheibensystemen zur KraftmessungBiehl, Saskia / Staufenbiel, Sebastian et al. | 2009
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Dreidimensionale Hallsensorik für die Anwendung im KfzKöhler, Ulrich / Lorenz, Thomas et al. | 2009
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Mikrodurchflusszytometer für die fluoreszenzbasierte BlutzelldifferenzierungKummrow, Andreas / Frankowski, Marcin / Tuchscheerer, Andrej / Schmidt, Martin / Neukammer, Jörg et al. | 2009
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Entwicklung eines Herstellverfahrens für die rückseitige, elektrische Kontaktierung von mikrotechnischen Membran-SensorelementenLeester-Schädel, Monika / Beutel, Tobias / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2009
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Combined MEMS Inertial Sensors for IMU ApplicationsMerz, P. / Reimer, K. / Weiß, M. / Schwarzelbach, O. / Schröder, C. / Giambastiani, A. / Rocchi, A. / Heller, M. et al. | 2009
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Electrostatic Voltage Sensor Based on a High Aspect-Ratio Copper Actuator Levitating over a Small Air GapDittmer, Jan / Brennecke, Alexander / Hecht, Lars / Judaschke, Rolf / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2009
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Design und Montagetechnologien miniaturisierter Laserstrahlquellen für den sichtbaren SpektralbereichSahm, A. / Fiebig, C. / Paschke, K. / Erbert, G. / Tränkle, G. et al. | 2009
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Optische Wellenleiter aus amorphem SiliziumLipka, Timo / Harke, Alexander / Horn, Oliver / Amthor, Julia / Müller, Jörg et al. | 2009
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StarJet: Pneumatische Erzeugung von Nano- bis Picoliter Tropfen flüssigen Lötzinns in einer sternförmigen DüseMetz, Tobias / Birkle, Gerhard / Ziegler, Christoph / Zengerle, Roland / Koltay, Peter et al. | 2009
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Tailored coatings for polymer surface permeability control in microfluidic devicesSchmidt, M. / Rupp, J. / Zinober, S. / Zheng, Z. / Müller-Fiedler, R. / Müller, C. et al. | 2009
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Bidirektionale OLED-Mikrodisplays: Technologie und ApplikationenScholles, Michael / Vogel, Uwe / Richter, Bernd / Amelung, Jörg / May, Christian / Notni, Gunther et al. | 2009
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Energie-Adaptive Autonome Sensor-ClientsMaurath, Dominic / Raimann, Manuel / Manoli, Yiannos et al. | 2009
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Textilbasierte Solarzellen – ein Weg zur Energieversorgung von MikrosystemenZimmermann, Yvonne / Neudeck, Andreas / Möhring, Uwe / Sensfuss, Steffi / Nazmutdinova, Gulnara / Schache, Hannes / Loewenstein, Thomas / Schlettwein, Derck et al. | 2009
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Herstellung und Charakterisierung von photonischen Kristall-Kavitäten im SichtbarenNüsse, N. / Barth, M. / Löchel, B. / Benson, O. et al. | 2009
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Mikrokomponenten für die NMR-SpektroskopieLeidich, Stefan / Kurth, Steffen / Riemer, Thomas / Geßner, Thomas et al. | 2009
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Druckbeständige thermoelektrische Strömungssensoren mittels MembranperforationKropp, M. / Kutzner, C. / Hartgenbusch, N. / Gu, S. / Sosna, C. / Buchner, R. / Hauptmann, P. / Lang, W. et al. | 2009
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Druckverfahren für Rapid Prototyping ProzesseKain, A. / Müller, C. / Reinecke, H. et al. | 2009
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Wafer-Herstellung piezoresistiver KragbalkensensorenBartuch, Herbert / Völlmeke, Stefan / Doering, Lutz / Brand, Uwe / Peiner, Erwin et al. | 2009
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Entwicklung eines Diagnosesystems zur Behebung graphomotorischer Störungen von KindernProkop, J. / Blank, R. / Hoffmann, J. / Jans, M. et al. | 2009
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Herstellung von funktionsintegrierenden Galvanowerkstoffen mit maßgeschneiderten Eigenschaften für MikrodirektantriebeThomas, Mache / Jakob, Christine / Dittrich, Lars / Hoffmann, Martin et al. | 2009
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Routing-Protokoll für komplexe energieautarke FunknetzeSchmidt, F. / Heller, W. / Rahusen, D. / Sikora, A. et al. | 2009
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Enzymatische Bio-Brennstoffzelle auf Basis von Kohlenstoffnanoröhrchen (CNT)/Chitosan-MembranenBogner, M. / Schnaithmann, M. / Sägebarth, J. / Sandmaier, H. et al. | 2009
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Schaltung zur effektiven Nutzung der Energie aus piezoelektrischen QuellenMenacher, M. / Schwesinger, Norbert et al. | 2009
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Aufbau eines statischen low-cost FourierspektrometersBuse, Oliver / Reithmeier, Eduard et al. | 2009
- 1
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Plasma-unterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung dünner hermetischer Borosilikatglasschichten im Wafer-Level-PackagingMaus, S. / Hansen, U. / Leib, J. / Töpper, M. et al. | 2009
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Energieautarker Montagesensor für fluidische SchnellkupplungenKurth, M. / Bülau, A. / Kück, H. / Laux, O. / Mayer, V. et al. | 2009
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Direkt-Methanol-Mikrobrennstoffzellen mit mikrostrukturierten StromkollektorfolienKrumbholz, S. / Wagner, S. / Al-Karagoly, O. / Hahn, R. / Reichl, H. et al. | 2009
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Ausgewählte Prozess-Technologien für eine Chip zu Wafer Integration von MEMS und ASICLange, Peter / Gruenzig, Sven / Marenco, Norman / Reinert, Wolfgang / Warnat, Stephan et al. | 2009
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Elektrisch schaltbarer Mikro-Schließmuskel zur MedikamentendosierungHerrlich, Simon / Messner, Stephan / Zengerle, Roland / Haeberle, Stefan et al. | 2009
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Ultra high Precision 3D Microprobe for CMM ApplicationsButefisch, S. / Dai, G. / Danzebrink, H.-U. / Brand, U. / Buttgenbach, S. et al. | 2009
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Integration von MEMS-Inertialsensoren in Smart RFID Label zur Transportüberwachung empfindlicher GüterNowack, Markus / Reuter, Danny / Bertz, Andreas / Gessner, Thomas et al. | 2009
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Platform for lab-on-a-chip systems based on integrated active valves made in polymers suitable for mass productionRupp, J. / Schmidt, M. / Günther, B. / Stumber, M. / Rothacher, P. / Zengerle, R. / Daub, M. et al. | 2009
- 1
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Modellierung, Optimierung und experimentelle Verifizierung piezo-elektrischer Biegeaktoren für MikropumpenHerz, M. / Horsch, D. / Lueth, T. / Richter, M. et al. | 2009
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Integrierte Spannungsregelung und Kontrollsystem für chip-integrierte Brennstoffzellen-KaskadenKuhl, M. / Erdler, G. / Frank, M. / Uhl, L. / Müller, C. / Reinecke, H. / Manoli, Y. et al. | 2009
- 1
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Ultradünner RF-ID-Chip in Chipfilm-TechnologieScherjon, C. / Harendt, C. / Engelhardt, T. / Muniz Munoz, P. / Kothamasu, M. / Burghartz, J.N. et al. | 2009
- 29
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TMR-Schichtsysteme fur SensoranwendungenGerken, A. / Paul, J. et al. | 2009
- 33
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Dreidimensionale Hallsensorik fur die Anwendung im KfzKohler, U. / Lorenz, T. et al. | 2009
- 41
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Neue SiC Drucksensor-Technologie fur raue UmgebungenBehnel, N. et al. | 2009
- 45
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Piezoresistive Dunnschichtsensorik integriert in Unterlegscheibensystemen zur KraftmessungBiehl, S. / Staufenbiel, S. et al. | 2009
- 53
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Hochauflosender flussigkeitsbasierter kapazitiver NeigungssensorSchwenck, A. / Fritz, K.-P. / Kuck, H. / Mayer, V. / Fries, A. / Pojtinger, A. / Remer, U. et al. | 2009
- 57
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Taktile Messtechnik an Mikrobohrungen mit hohem AspektverhaltnisPeiner, E. / Stranz, A. / Doering, L. et al. | 2009
- 65
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Drahtloses Auswertesystem fur kapazitive SensorenNopper, R. / Niekrawietz, R. / Reindl, L. et al. | 2009
- 69
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Ermittlung von mechanischen Defekten in Mikrosystemen anhand dynamischer Messungen fur die ProduktionsuberwachungGerbach, R. / Petzold, M. / Ebert, M. et al. | 2009
- 77
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Ausgewahlte Prozesstechnologien fur eine Chip-zu- Wafer Integration von MEMS und ASICLange, P. / Gruenzig, S. / Marenco, N. / Reinert, W. / Warnat, S. et al. | 2009
- 81
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Solid-Liquid-Interdiffusion Bonding fur 3D-Integration und Wafer-Level-PackagingBaum, M. / Wiemer, M. / Gessner, T. / Hofmann, L. et al. | 2009
- 85
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Bondenergie-Messung in situ wahrend des Temperns beim Direktbonden von Glas und SiliziumEichler, M. / Hennecke, P. / Klages, C.-P. / Michel, B. et al. | 2009
- 89
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CMOS Post-Processing fur kompakte, intelligente MikrosystemeVogt, H. et al. | 2009
- 93
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Ultradunner RFID-Chip in Chipfilm ™-TechnologieScherjon, C. et al. | 2009
- 97
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Druckverfahren fur Rapid Prototyping-ProzesseKain, A. et al. | 2009
- 101
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Blasformen von Mikrofluidikstrukturen fur Lab-on-a-Foil-AnwendungenFocke, M. / Muller, C. / Zengerle, R. / Stetten, F.v. et al. | 2009
- 104
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Aktive miniaturisierte Langasit-Strukturen fur Anwendungen oberhalb von 600 ^oCSauerwald, J. / Richter, D. / Fritze, H. / Ansorge, E. / Schmidt, B. et al. | 2009
- 108
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Alternative Fertigungsverfahren fur Formeinsatze durch galvanische Replikation von mikro- und nanostrukturierten BauteilenWissmann, M. / Guttmann, M. / Hartmann, M. et al. | 2009
- 116
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Neue Methode zur Kontaktierung isolierter MikrodrahteMeiss, T. / Rossner, T. / Werthschutzky, R. et al. | 2009
- 120
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„Artificial Micro Organs„ - dielektrophoretische Zellassemblierung in Mikrofluidiksystem fur in-vivo-ahnliche 3D-Zellkultursysteme fur das WirkstoffscreeningSchutte, J. / Holzner, F. / Benz, K. / Freudigmann, C. / Hagmeyer, B. / Kubon, M. / Stelzle, M. / Bottger, J. / Gebhardt, R. / Becker, H. et al. | 2009
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Mikroviskosimeter zur kontinuierlichen Glucosemessung bei Diabetes mellitusBirkholz, M. / Ehwald, K.-E. / Ehwald, R. / Kaynak, M. / Borngräber, J. / Drews, J. / Haak, U. / Klatt, J. / Matthus, E. / Schoof, G. et al. | 2009
- 126
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Mikrodurchflusszytometer fur die fluoreszenzbasierte BlutzelldifferenzierungKummrow, A. / Frankowski, M. / Neukammer, J. / Tuchscheerer, A. / Schmidt, M. et al. | 2009
- 130
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Aktive intravaskulare Magnetresonanz-Sonde auf Basis einer optischen SignalubertragungFandrey, S. / Muller, J. / Weiss, S. et al. | 2009
- 134
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Kontinuierlich arbeitende Mikrofluidik-Plattform zur Aufreinigung von BiomolekulenKarle, M. / Haberle, S. / Miwa, J. / Roth, G. / Zengerle, R. / von Stetten, F. et al. | 2009
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Influenza Virus Detektion in der ImpfstoffherstellungBalck, A. / Michalzik, M. / Büttgenbach, S. et al. | 2009
- 142
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Gezielte chemische Stimulation einzelner Tabak-Protoplasten mittels hochaufgeloster WirkstoffabgabeWangler, N. / Brett, O. / Laufer, M. / Strasser, M. / Daub, M. / Steigert, J. / Dovzhenko, A. / Voigt, K. / Palme, K. / Zengerle, R. et al. | 2009
- 152
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Solare Wasserstoffgewinnung fur MikrobrennstoffzellenBretthauer, C. et al. | 2009
- 160
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Integrierte Spannungsregelung und Kontrollsystem fur chipintegrierte Brennstoffzellen-KaskadenKuhl, M. / Frank, M. / Manoli, Y. / Erdler, G. et al. | 2009
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MEMS Foundry - Erfordernisse und HerausforderungenMerz, P. / Wagner, B. / Dudde, R. / Benecke, W. et al. | 2009
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MEMS/MST als Baustein von "More Than Moore" und die Realisierung im Wafer-Foundry-BusinessSchwarz, Uwe et al. | 2009
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Lab-on-a-Chip Foundry Service: Schnelle kundenspezifische Implementierung miniaturisierter biochemischer AssaysMetz, T. / Karle, M. / Preis, T. / Mark, D. / Roth, G. / Müller, C. / Zengerle, R. / Stetten, F. von et al. | 2009
- 179
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Verifizierung eines nichtlinearen Modells fur einen gedampften ohmschen HF-Schalter bei unterschiedlichen DruckbedingungenNiessner, M. / Schrag, G. / Wachutka, G. / Iannacci, J. et al. | 2009
- 183
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Elektrische Charakterisierung und Bewertung von AVT-Materialien fur Hochfrequenz-/High-Speed-AnwendungenGuttowski, S. / Maass, U. / Ndip, I. / Reichl, H. et al. | 2009
- 186
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Mikrokomponenten fur die NMR-SpektroskopieLeidich, S. / Gessner, T. / Kurth, S. / Riemer, T. et al. | 2009
- 190
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Druckbestandige thermoelektrische Stromungssensoren mittels MembranperforationKropp, M. / Hartgenbusch, N. / Gu, S. / Sosna, C. / Buchner, R. / Lang, W. / Kutzner, C. / Hauptmann, P. et al. | 2009
- 198
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Verfahren und System zur kontaktfreien und medienunabhangigen Volumenbestimmung in DosierprozessenGotz, M. / Ashauer, M. / Zengerle, R. et al. | 2009
- 202
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Performance of a Planar Micro-Flame Ionization DetectorKuipers, W. / Muller, J. et al. | 2009
- 206
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Technologien der Mikro-Nano-Integration als Basis fur zukunftige Hightech-ProdukteLang, K.-D. et al. | 2009
- 210
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Nanostrukturierte Siliziumoberflachen fur Mikro-Nano-IntegrationMescheder, U. / Kovacs, A. / Jonnalagadda, P. / Nimo, A. et al. | 2009
- 218
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Herstellung und Charakterisierung von photonischen Kristall-Kavitaten im SichtbarenNusse, N. / Lochel, B. / Benson, O. / Barth, M. et al. | 2009
- 222
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Anwendungen nanostrukturierter Grenzflachen in Mikrosystemen am Beispiel von Si-Gras und Herausforderungen fur die ForschungHoffmann, M. et al. | 2009
- 234
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Entwicklung einer hermetischen Glas-Silizium-Verkapselung als Gehause fur integrierte Lithium-Polymer-BatterienMarquardt, K. / Hahn, R. / Wilke, M. / Reichl, H. / Blechert, M. et al. | 2009
- 238
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Energieautarker Montagesensor fur fluidische SchnellkupplungenKurth, M. / Laux, O. / Bulau, A. / Kuck, H. / Mayer, V. et al. | 2009
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Polytronische MikrosystemeBock, Karlheinz et al. | 2009
- 254
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Materialien fur Polymere MEMS - Dielektrische ElastomeraktorenBose, H. / Rawinski, V. / Uhl, D. / Reichert, Y. et al. | 2009
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Drucken von funktionalen Strukturen auf polymerbasierten mikromechatronischen 3D-PackagesWilleck, H. / Keck, J. / Eberhardt, W. / Polzinger, B. / Kück, H. et al. | 2009
- 262
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Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor fur FestplattenspeicherSaalfeld, H. / Dinulovic, D. / Gatzen, H.-H. et al. | 2009
- 266
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Konzept und Herstellprozess fur neuartige elektrostatische Torsionsaktoren aus SiliziumFritz, J. / Pinter, S. / Friese, C. / Pirk, T. / Seidel, H. et al. | 2009
- 270
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Elektrisch schaltbarer Mikro-Schliessmuskel zur MedikamentendosierungHerrlich, S. / Messner, S. / Zengerle, R. / Haeberle, S. et al. | 2009
- 274
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Modellierung, Optimierung und experimentelle Verifizierung piezo-elektrischer Biegeaktoren fur MikropumpenHerz, M. / Horsch, D. / Richter, M. / Lueth, T. et al. | 2009
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MST am Herz: Implantierbarer Sensor zur Bestimmung wichtiger Parameter zur Diagnose und Therapie von Herzinsuffizienz (COMPASS)Bode, Sven / Trieu, Hoc-Khiem / Traulsen, Tim / Mokwa, Wilfried / Schmitz-Rode, Thomas et al. | 2009
- 356
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Hochgenaue Mehrfachmontage von grossen opto-mechanischen BaugruppenSchachler, R. / Rogge, M. et al. | 2009
- 360
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Untersuchung eines Mikroplasmas fur die Anwendung in einem MikromassenspektrometerWong, R.M.R. / Hauschild, J.P. / Wapelhorst, E. / Muller, J. et al. | 2009
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Strength and Reliability Properties of Eutectic Bonded MEMS StructuresSchneider, A. / Rank, H. / Müller-Fiedler, R. / Wittler, O. / Reichl, H. et al. | 2009
- 372
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Entwicklung und Evaluierung einer mikrosystembasierten Anlage zur Kryokonservierung von multizellularen AggregatenKatsen-Globa, A. / Meiser, I. / Kofanova, O. / Sebastien, I. / Zimmermann, H. / Wiedemeier, S. / Metze, J. / Weber, M.M. / Weyand, E. et al. | 2009
- 376
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Rechnergestutzte Formoptimierung von urgeformten MikrobauteilenAlbers, A. / Enkler, H.-G. et al. | 2009
- 385
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Electrostatic Voltage Sensor Based on a High Aspect-Ratio Copper Actuator which is Levitating over a Small Air GapDittmer, J. / Buttgenbach, S. / Judaschke, R. et al. | 2009
- 389
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Mikro-Hysteresemesssensor zur Vermessung anisotroper DunnfilmeFlick, E. / Gatzen, H.-H. et al. | 2009
- 397
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Dunnschichtsensorik zur Prozessuberwachung in StanzprozessenBiehl, S. / Staufenbiel, S. et al. | 2009
- 401
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Zur transienten Temperaturentwicklung in einem fluidischen Infrarot-Detektor auf der Basis der infrarotempfindlichen Sensillen des Schwarzen Kiefernprachtkafers Melanophila acuminataSoltner, H. / Bousack, H. / Schmitz, H. et al. | 2009
- 405
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Konzept und Modellierung eines piezoelektrischen 3D-Tastelementes auf Basis von Aluminiumnitrid-DunnschichtenPolster, T. / Hoffmann, M. et al. | 2009
- 413
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Integration von MEMS-Inertialsensoren in Smart-RFID-Labels zur Transportuberwachung empfindlicher GuterNowack, M. et al. | 2009
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A Low Cost Input Device for Virtual Reality SystemsRomanovas, M. / Klingbeil, L. / Reiner, R. / Trächtler, M. / Manoli, Y. / Link, T. / Wierse, A. et al. | 2009
- 421
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Mikrotechnischer Stromungssensor fur den Einsatz in rauhen UmgebungenAshauer, M. / Billat, S. / Ashauer, H. / Storz, M. / Kattinger, G. / Hedrich, F. / Zengerle, R. / Lust, L. et al. | 2009
- 425
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Magnetische Mikrosysteme fur WandleranwendungenGatzen, H.-H. / Ruffert, C. / Wurz, M.C. / Flick, E. et al. | 2009
- 429
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Charakterisierung eines kapazitiven Positionserfassungssystems fur einen Lorentzkraft betriebenen MikroroboterBoese, C. / Feldmann, M. / Buttgenbach, S. et al. | 2009
- 433
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Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Nanokomposite als Sensorschichten fur die Kraft- und DrucksensorikKoppert, R. / Gottel, D. / Probst, A.C. / Freitag-Weber, O. / Schultes, G. / Werner, U. et al. | 2009
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Optimierung der Ansteuerung des SIS-Massenseparators im planar integrierten Mikro-MassenspektrometerQuiring, Grigoriy / Hauschild, Jan-Peter / Wapelhorst, Eric / Müller, Jörg et al. | 2009
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Assembly of pressure sensor chips as an example for integrated MEMS for high temperature applicationsKlieber, Robert / Goehlich, Andreas / Trieu, Hoc Khiem / Kappert, Holger / Grabmaier, Anton et al. | 2009
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Influence of Micro-Burner Geometry on Flame StabilityKuipers, Winfred / Bohne, Sven / You, Wenbin / Müller, Jörg et al. | 2009
- 472
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Dunnschichtsensorik auf Titandioxidbasis zur Messung von Sauerstoffkonzentrationen bei niedrigen TemperaturenBiehl, S. / Hauschild, F. / Wolf, L. et al. | 2009
- 476
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Integration of Microfluidics Features with Microneedle Electrode Arrays for Intracellular Recording ApplicationsHeld, J. / Gaspar, J. / Ruther, P. / Paul, O. / Koester, P. / Baumann, W. / Tautorat, C. / Hagner, M. / Cismak, A. / Heilmann, A. et al. | 2009
- 480
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Finite Element Method Based Design Optimization of Electrochemical Transducer Electrodes for Detection of Bio MoleculesFrey, A. / Schienle, M. / Kuhne, I. / Hiltawsky, K. / Meyburg, S. / Seidel, H. et al. | 2009
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MEMS-Filter zur Zellen-Probennahme, Anreicherung und DetektionHelwig, Andreas / Heller, Christoph / Reidt, Ulrich / Friedberger, Alois et al. | 2009
- 488
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Entwicklung eines Mikrochips fur Hochdurchsatzuntersuchungen von biologischen MembrankanalenBaaken, G. / Prucker, O. / Behrends, J.C. / Ruhe, J. et al. | 2009
- 491
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Parylen-C-basierte organische Schaltungen fur Applikationen in ImplantatenFeili, D. / Seidel, H. / Schuettler, M. / Stieglitz, T. et al. | 2009
- 495
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Entwicklung eines Diagnosesystems zur Behebung graphomotorischer Storungen von KindernProkop, J. et al. | 2009
- 499
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Enzymatische Bio-Brennstoffzelle auf Basis von Kohlenstoffnanorohrchen (CNTs) / Chitosan MembranenBogner, M. / Schnaithmann, M. / Sagebarth, J. / Sandmaier, H. et al. | 2009
- 503
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Integrierter Mikrobioreaktor zur parallelen 3D-ZellkulturfuhrungHampl, J. / Weise, F. / Fernekorn, U. / Hildmann, C. / Augspurger, C. / Klett, M. / Laffert, A. et al. | 2009
- 507
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Automatisierte chipbasierte Extraktion und Nachweis von HPV-mRNA aus Gebarmutterhals-AbstrichenBaier, T. / Hansen-Hagge, T. et al. | 2009
- 509
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Entwicklung einer mikrofluidischen Biochip-Platform fur die dynamische Detektion und Quantifikation von ProteinenRendl, M. / Brandstetter, T. / Ruhe, J. et al. | 2009
- 513
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PDMS-Mikrokomponenten fur die Abtrennung von Biomasse zur Integration in Lab-on-a-Chip SystemenDemming, S. / Balck, A. / Buttgenbach, S. / Al-Halhouli, A. et al. | 2009
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Lab-on-chip-System zur Isolierung und Charakterisierung zirkulierender TumorzellenRöser, T. / Borgen, E. / Fermér, C. / Hauch, S. / Henry, O. / Laddach, N. / Lagae, L. / Liu, C. / Strobach, X. / O’Sullivan, C. K. et al. | 2009
- 521
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Nicht-invasive Signaltransduktion mit Sensorbeads fur das toxikologische Screening in der Mikrofluidsegment-TechnikCao, J. / Funfak, A. / Schneider, S. / Kohler, J.M. / Wolfbeis, O.S. et al. | 2009
- 525
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Technologie-Plattform fur Nukleinsaure basierte Biochip-AnwendungenBonisch, A. / Brandstetter, T. / Ruhe, J. / Mader, A. et al. | 2009
- 529
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Antikorper-Microarrays basierend auf mikrostrukturierten oberflachengebundenen Hydrogelen fur klinische AnwendungenEvers, A. / Moschallski, M. / Brandstetter, T. / Ruhe, J. et al. | 2009
- 533
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Langzeitkultur von neuronalen Zellen in Mikrokanalen mit substratintegrierten MikroelektrodenGalneder, R. / Notzold, S. / Martin, D. / Nisch, W. / Stett, A. / Boven, K.H. / Moller, A. / Hembd, C. / Kahl, V. et al. | 2009
- 538
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Siliziumbasierte O~2-FET Biosensoren fur die zellulare DiagnostikEminaga, Y. / Brischwein, M. / Grothe, H. / Wolf, B. / Wiest, J. et al. | 2009
- 546
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Redoxpolymer-basierte Enzymelektroden fur Biobrennstoffzellen und BiosensorenBunte, C. / Prucker, O. / Ruhe, J. et al. | 2009
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Deformationsanalyse an biologischen ModellsystemenLietzau, Kai-Henning / Chrzumnicka, Ewa / Göpfrich, Armin / Pfüger, Markus / Inwersen, Jan / Vogt, Thomas / Foitzik, Andreas H. et al. | 2009
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Optimierte digitale Ansteuerung eines CMOS-basierten Chiparrays zur DNA-DetektionKuehne, I. / Kruppa, P. / Frey, A. / Schienle, M. et al. | 2009
- 558
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Textile und textilbasierte Elektrodensysteme - neue Moglichkeiten fur sensorische und aktuatorische ApplikationenRotsch, C. / Oschatz, H. / Neudeck, A. / Hanus, S. / Gnewuch, K. / Zschenderlein, D. / Mohring, U. / Gimpel, S. et al. | 2009
- 562
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Biologisch inspirierte aktive Elektroortungs-Sensorenvon der Emde, G. / Mayekar, K. / Bousack, H. / Pabst, M. et al. | 2009
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Coil topology optimization method for electromagnetic vibration energy harvesting devicesSpreemann, D. / Folkmer, B. / Manoli, Y. et al. | 2009
- 570
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Methoden fur die Parameteridentifikation und Charakterisierung von mechanischen Spannungen in mikromechanischen ElementenShaporin, A. / Schmiedel, R. / Mehner, J. / Billep, D. / Sommer, J.-P. / Gessner, T. et al. | 2009
- 574
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Stirnwellen in Kavitaten von mikrostrukturierten PlasmastempelnErmel, V. et al. | 2009
- 578
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Entwicklungsumgebung fur den Entwurf von Lab-on-a-Chip-Systemen fur die Tropfenbasierte MikrofluidikGleichmann, N. / Kielpinski, M. / Malsch, D. / Mayer, G. / Henkel, T. et al. | 2009
- 582
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Validierung von Mikrogetrieben - Erhohte Korrelation zwischen Simulation und PrufstandsversuchAlbers, A. / Borsting, P. / Deigendesch, T. / Enkler, H.-G. / Leslabay, P. et al. | 2009
- 586
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EasyKit - Entwicklungsmethodik fur den Entwurf mikromechatronischer SystemeBauer, G. / Pittschellis, R. et al. | 2009
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Stressuntersuchung und Optimierung von SOI-basierten MembranenKronast, Wolfgang / Mescheder, Ulrich / Huster, Rolf et al. | 2009
- 594
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Routing-Protokoll fur komplexe energieautarke FunknetzeSchmidt, F. / Heller, W. / Rahusen, D. / Sikora, A. et al. | 2009
- 602
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Grosssignalverhalten von MEMS-Varaktoren als Abstimmelement in Duplexfiltern fur BasisstationenMzyk, R. / Fischer, G. et al. | 2009
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Compact RF Model for S-Parameter Characteristics of RF-MEMS Capacitive SwitchesKaynak, M. / Zihir, S. / Gurbuz, Y. / Tillack, B. et al. | 2009
- 618
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Robotergestutztes Mess- und Handlingsystem fur Qualitatsmessungen an MikroteilenBattenberg, G. / Kremper, A. et al. | 2009
- 622
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Einfluss von Nanokompositen auf die Zuverlassigkeit und die mechanischen Eigenschaften von FeuchtesensorenHammacher, J. / Seiler, B. / Saettler, P. / Kreyssig, K. / Martin, J. / Michel, B. et al. | 2009
- 626
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Spannungsmessung hoher Ortsauflosung an Komponenten der MikrosystemtechnikVogel, D. / Michel, B. / Gollhardt, A. et al. | 2009
- 629
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Nanopositionier- und Nanomessmaschinen - universelle skalenubergreifende Werkzeuge von Makro bis NanoTheska, R. / Manske, E. et al. | 2009
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Beobachtung des unterkritischen Risswachstums in elektronischen Package-Materialien durch den Einsatz der IR-ThermographieMay, D. / Wunderle, B. / Schacht, R. / Michel, B. et al. | 2009
- 637
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Schichtdickenmessungen an ultradicken Mehrschicht-MikrostrukturenEngelke, R. / Richter, U. et al. | 2009
- 641
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Fertigung von Hybriddruckkopfen aus Silizium und KunststoffKalkandjiev, K. / Zengerle, R. / Koltay, P. et al. | 2009
- 649
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Lab-on-a-Chip Cartridge zur Durchfuhrung von Immunoassays mit integrierter ProbenaufbereitungLutz, S. / Mark, D. / Zengerle, R. / von Stetten, F. et al. | 2009
- 652
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Reaktionskalorimetrie in Mikroreaktoren: Schnelles Reaktionsscreening und Prozess-designAntes, J. / Gegenheimer, M. / Lobbecke, S. / Knorr, A. / Wirker, R. / Fritzsche, L. et al. | 2009
- 656
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Herstellung von vergrabenen Kanalen fur einen MikrogasinjektorFeindt, H. / Bohne, S. / Reinert, A. / Meurer, J. / Muller, J. et al. | 2009
- 660
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Synthese von funktionalisierten spharischen Polymerpartikeln in mikrostrukturierten ReaktorenRoseling, D. / Turcke, T. / Horn, B. / Lobbecke, S. / Krause, H.H. et al. | 2009
- 663
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Physiologische Assays in einem DVD-Player am Beispiel der Messung des HamatokritsBurger, J. / Mark, D. / Roth, G. / Muller, C. / Zengerle, R. / von Stetten, F. / Park, Y. et al. | 2009
- 666
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Plasmagestutzte Oberflachenmodifizierung in fluidischen Systemen mit gedeckelten KavitatenEichler, M. / Thoma, M. / Klages, C.-P. et al. | 2009
- 670
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CFD Simulation and Analysis of Micro Bubble Generating Nozzles for MicroreactorsLang, P. / Woias, P. et al. | 2009
- 674
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Suche nach neuen Antibiotika im mikrofluidischen SystemZang, E. / Martin, K. / Kielpinski, M. / Henkel, T. / Wiesmuller, K.H. et al. | 2009
- 678
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Produktion von bioartifiziellen Mikrotransplantaten fur die Diabetestherapie durch eine neuartige mikrofluidische AnlageEhrhart, F. / Zimmermann, H. / Wiedemeier, S. / Metze, J. / Weyand, E. / Weber, M.M. / Sukhorukov, V. / Zimmermann, U. / Danzebrink, R. et al. | 2009
- 682
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Kapillares Losungsmittelkleben mikrofluidischer Chips unter RaumtemperaturFan, Z. / Sagebarth, J. / Ghahremanpour, M. / Sandmaier, H. et al. | 2009
- 686
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Flexibles Mikroreaktionssystem fur die ProzessoptimierungMendl, A. / Boskovic, D. / Krober, H. / Turcke, T. / Lobbecke, S. et al. | 2009
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Selbstorganisierte ChipmontageBoufercha, Nourdin / Schurz, Michael / Sägebarth, Joachim / Sandmaier, Hermann et al. | 2009
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Hierarchisches mikrofluidisches SystemMorschhauser, A. / Wachner, D. / Hammerschmidt, J. / Nestler, J. / Jahn, S. / Goedel, W. / Baumann, R. / Gessner, T. et al. | 2009
- 696
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Segmentierte Prozessfuhrung in mikrofluidischen BauteilenBoskovic, D. / Mendl, A. / Turcke, T. / Schwarzer, M. / Lobbecke, S. et al. | 2009
- 698
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Schnelle Mischung in Mikrofluidsegmenten fur die Herstellung binarer Metall-Nanopartikel mit enger GrossenverteilungKnauer, A. / Kohler, J. et al. | 2009
- 702
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Ermittlung der piezoelektrischen Koeffizienten von AINDunnfilmen mit unterschiedlicher KristallorientierungAbabneh, A. / Seidel, H. / Schmid, U. / Hernando, J. / Sanchez-Rojas, J.L. et al. | 2009
- 706
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Herstellung und Evaluierung nanoskaliger reaktiver Strukturen fur den Einsatz von Niedertemperatur-Bondverfahren in der MikrosystemtechnikBrauer, J.J. / Baum, M. / Wiemer, M. / Gessner, T. / Hofmann, L. et al. | 2009
- 710
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Selbstmaskierte Nanostrukturen in Kieselglas fur neue Technologiekonzepte in MEMS, MOEMS und BioMEMSLilienthal, K. / Fischer, M. / Schober, A. / Stubenrauch, M. et al. | 2009
- 714
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Einfluss der Sputterparameter auf Morphologie, Phasenbildung und elektrische Eigenschaften von dunnen TantalschichtenGrosser, M. / Seidel, H. / Schmid, U. et al. | 2009
- 718
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Einfluss der Abscheideparameter auf die Mikrostruktur von Silberdunnfilmen auf LTCCBittner, A. / Seidel, H. / Schwanke, D. / Schmid, U. et al. | 2009
- 722
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Weiterbildung zur/zum staatlich gepruften Technikerin/Techniker Mikrotechnologien - Kooperation zwischen Weiterbildungspartner und TechnikerschuleLeester-Schadel, M. / Knebusch, O. et al. | 2009
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Optimisation of surface quality of 3D silicon master forms for injection molding of optical micro elementsIvanov, A. / Kovacs, A. / Mescheder, U. / Kuhn, S. / Kübler, M. / Burr, A. et al. | 2009
- 730
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Flip-Chip-Technologie mit neuartigen UBM fur die Ankontaktierung von Transistoren in III/V-TechnologieZhytnytska, R. / Wurfl, J. / Sidorov, V. et al. | 2009
- 734
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Erhohung der Temperaturstabilitat von Dunnschicht-Thermoelementen durch den Einsatz einer Diffusionsbarriere aus TiNBuchner, R. / Sosna, C. / Lang, W. et al. | 2009
- 738
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Metallischer Siebdruck als Fertigungsverfahren fur die MikrosystemtechnikStudnitzky, T. / Strauss, A. et al. | 2009
- 742
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Applikationsbeispiele fur Mikrostrukturen in PDMSRiedl, X. / Bolzmacher, C. / Wagner, R. / Bauer, K. / Schwesinger, N. et al. | 2009
- 746
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Entwicklung eines Herstellverfahrens fur die ruckseitige, elektrische Kontaktierung von mikrotechnischen Membran-SensorelementenLeester-Schadel, M. / Beutel, T. / Buttgenbach, S. et al. | 2009
- 750
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Mikrostrukturelle Vorgange bei der Verschweissung von AlSi1-Draht im Ultraschall-Wedge/Wedge-BondverfahrenGeissler, U. / Schneider-Ramelow, M. et al. | 2009
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Packaging von selbstaktuierten piezoresistiven Cantilver-FeldernBischoff, Gernot / Drüe, Karl-Heinz / Müller, Jens / Sarov, Yanko / Frank, Andreas / Zöllner, Jens-Peter / Ivanov, Tzvetan / Rangelow, Ivo W. et al. | 2009
- 758
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Breitbandige LGA-Ubergange von Leiterplatte zu LTCC fur Frequenzen bis 67 GHzSchulz, A. / Rentsch, S. / Muller, J. et al. | 2009
- 762
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Herstellung von funktionsintegrierenden Galvanowerkstoffen mit massgeschneiderten Eigenschaften fur MikrodirektantriebeMache, T. / Dittrich, L. / Jakob, C. / Hoffmann, M. et al. | 2009
- 769
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Simulation des Laserabgleichs von Dunnfilmwiderstanden mit Widerstandsnetzwerk im SchaltungssimulatorVogt, H. et al. | 2009
- 773
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Kontaktierung von Mikrosystemen auf Textilien durch isotrop elektrisch leitfahige Schmelzklebstoffdispersionen (ICHMD)von Schilling, A. / Hemken, G. / Bohm, S. et al. | 2009
- 777
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Exakte und reproduzierbare Mikroklebungen fur Hybridsysteme durch bauteilintegrierte KlebhilfenWagner, M. / Bohm, S. et al. | 2009
- 781
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Erwarmung von thermoplastischen Kunststoffen mit Ultraschall fur das MikrospritzgiessenMichaeli, W. / Kamps, T. et al. | 2009
- 785
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Entwicklung eines Mikrodispergierelements fur pharmazeutische Screening-Anwendungen: Materialien und FertigungLesche, C. / Buttgenbach, S. / Gothsch, T. / Kwade, A. et al. | 2009
- 789
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Senkerosion von Mikrostrukturen in gesintertem, elektrisch isolierendem ZrO~2Hosel, T. / Muller, C. / Reinecke, H. et al. | 2009
- 792
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Lokale Plasma-Behandlung in einem Mask Aligner zur selektiven Veranderung der Oberflache von WafernGabriel, M. / Milde, S. / Eichler, M. / Klages, C.-P. et al. | 2009
- 796
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Drucken von funktionalen Strukturen auf thermoplastischen mikromechatronischen 3D-PackagesWilleck, H. / Keck, J. / Eberhardt, W. / Polzinger, B. / Kuck, H. et al. | 2009
- 800
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Optimierung von Andruckstrukturen fur Mikrobrennstoffzellen in LeichtbauweiseWagner, S. / Andre, F. / Anders, H. / Hahn, R. / Krumbholz, S. / Reichl, H. et al. | 2009
- 804
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Untersuchung der Aktivierungseffekte durch DBD bei Atmospharendruck fur das Tieftemperatur-DirektbondenMichel, B. / Klages, C.-P. / Eichler, M. et al. | 2009
- 812
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Lotzinndruck fur die Flip-Chip-BestuckungKessling, O. / Schink, M. / Irlinger, F. / Luth, T. et al. | 2009
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Automatisierung der LIGA ProduktionSchwartz, G. / Hahn, L. / Skupin, H. / Gengenbach, U. / Bretthauer, G. et al. | 2009
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Funktionelle Komponenten fur einen linearen ReluktanzschrittmotorWaldschik, A. / Feldmann, M. / Buttgenbach, S. / Wiedmann, K. / Janssen, G. / Ponick, B. / Mertens, A. et al. | 2009
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Dunnfilmtechnische Herstellung eines rotatorischen SynchronmotorsPape, F. / Creutzburg, T. / Traisigkhachol, O. / Gatzen, H.H. et al. | 2009
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Electrothermally, Easily Handled Silicon Micro GripperHoxhold, B. / Buttgenbach, S. et al. | 2009
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Micro-Electronic Seal - Elektronisches Verschlusssystem fur Medikamenten- und ChemiebehaltnisseHampicke, M. / Nachsel, R. / Potter, H. / Ifland, D. / Ansorge, F. / Boeck, T. / Eder, M. et al. | 2009
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Design, Fertigung und messtechnische Untersuchungen an einem MikroreluktanzaktorHansen, S. / Gatzen, H.-H. et al. | 2009
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On-Chip PCR - Technologie und AnwendungenHeinrich, E. / Julich, S. / Kielpinski, M. / Urban, M. / Henkel, T. et al. | 2009
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Microreaction Platform for Educational Experiments, Flexible Synthesis and Device CharacterizationGroß, G. A. / Günther, P. M. / Schneider, S. / Köhler, J. M. et al. | 2009
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Diodenlaser-basierte Mikrosystemlichtquellen fur die In-situ-Raman-SpektroskopieMaiwald, M. / Sumpf, B. / Erbert, G. / Trankle, G. et al. | 2009
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Wellenleiterkoppler fur die mikrointerferometrische AktorregelungKornfeld, A. / Kolleck, C. / Ostendorf, A. et al. | 2009
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Grossflachiges Mikrospiegelsystem zur TageslichtlenkungJakel, A. / Li, Q. / Viereck, V. / Hillmer, H. et al. | 2009
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Neue Konzepte der Aufbau- und Verbindungstechnik mikrooptischer SystemeEberhardt, R. / Beckert, E. / Burkhardt, T. / Mohaupt, M. / Bruchmann, C. / Tünnermann, A. et al. | 2009
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Fabrication of mono-crystalline Silicon Micro-mirror Arrays using adhesive Wafer Transfer BondingZimmer, F. / Bring, M. / List, M. / Lapisa, M. / Niklaus, F. et al. | 2009
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Nanopragen in Polymerfolien als Fertigungsverfahren fur fluidische Mikro-Nano-SystemeSchleunitz, A. / Senn, T. / Lochel, B. / Datta, P. / Gottert, J. / Giselbrecht, S. / Reinhardt, M. et al. | 2009
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Nanomembranes – a link between MEMS and NEMSMatovic, Jovan / Adamovic, Nadja / Schmidt, Ulrich / Jakšic, Zoran et al. | 2009
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Biomolekulare Selbstassemblierung von mikroskaligen ObjektenAlberti, Martin / Yacoub-George, Erwin / Landesberger, Christof / Bock, Karlheinz et al. | 2009
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Micro Segmented-Flow Technique for Continuous Synthesis of Fluorescent ZnO Micro- and NanoparticlesLi, Shuning / Günther, Mike / Köhler, J. Michael et al. | 2009
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Robustness Validation for MEMSJager, B. / Kanert, W. et al. | 2009
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GLOBE MST – Metastudie zum Stand der Mikrosystemtechnik auf der Basis inhaltsanalytischer MethodenDickerhof, Markus / Parusel, Anna / Bittner, Klaus / Anson, Susan / Kautt, Matthias / Gengenbach, Ulrich / Kaufmann, Ulrike / Voges, Udo et al. | 2009
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Wildau-Life Manufacturing CenterWolter, Nick / Böhme, Andrea / Kowolik, Jan / Lietzau, Kai-Henning / Edel, Carl-Heinz / Foitzik, Andreas et al. | 2009
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MST im Gehirn: Neuroprothese für die Epilepsiediagnose und -therapieStett, Alfred / Boven, Karl-Heinz / Bucher, Volker / Gharabaghi, Alireza / Kern, Dieter / Wrobel, Walter-G. / Mattmüller, Rudi et al. | 2009
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Rechnergestützte Formoptimierung von urgeformten MikrobauteilenAlbers, Albert / Enkler, Hans-Georg et al. | 2009
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Validierung von Mikrogetrieben – Erhöhte Korrelation zwischen Simulation und PrüfstandsversuchAlbers, Albert / Börsting, Peter / Deigendesch, Tobias / Enkler, Hans-Georg / Leslabay, Pablo et al. | 2009
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Synthese von funktionalisierten sphärischen Partikeln im segmentiertem Fluss in mikrostrukturierten ReaktorenRöseling, D. / Türcke, T. / Horn, B. / Löbbecke, S. / Krause, H. H. et al. | 2009
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Entwicklung eines Mikrodispergierelements für pharmazeutische Screening-Anwendungen: Material und FertigungLesche, Claudia / Büttgenbach, Stephanus / Gothsch, Thomas / Kwade, Arno et al. | 2009
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Funktionelle Komponenten für einen linearen ReluktanzschrittmotorWaldschik, Andreas / Feldmann, Marco / Wiedmann, Karsten / Janssen, Gerd / Ponick, Bernd / Mertens, Axel / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2009
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Gewinner von morgen durch hohe Innovationsfähigkeit – Hightech-Unternehmen stellen durch Qualifizierung die Weichen für die Zeit nach der KriseNeuy, Christine et al. | 2009
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Integrierter Mikrobioreaktor zur parallelen 3D-ZellkulturführungHampl, J. / Weise, F. / Fernekorn, U. / Hildmann, C. / Augspurger, C. / Klett, M. / Läffert, A. / Schober, A. et al. | 2009
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EasyKit – Entwicklungsmethodik für den Entwurf mikromechatronischer SystemeBauer, G. / Pittschellis, R. et al. | 2009
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Großsignalverhalten von MEMS Varaktoren als Abstimmelement in Duplexfiltern für BasisstationenMzyk, R. / Fischer, G. et al. | 2009
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Erwärmung von thermoplastischen Kunststoffen mit Ultraschall für das MikrospritzgießenMichaeli, Walter / Kamps, Thomas et al. | 2009
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Optimierung von Andruckstrukturen für Mikrobrennstoffzellen in LeichtbauweiseWagner, S. / Krumbholz, S. / Andre, F. / Anders, H. / Hahn, R. / Reichl, H. et al. | 2009
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Verifizierung eines nichtlinearen Modells für einen gedämpften ohmschen HF-Schalter bei unterschiedlichen DruckbedingungenNiessner, Martin / Schrag, Gabriele / Wachutka, Gerhard / Iannacci, Jacopo et al. | 2009
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Entwicklung eines Mikrochips für Hochdurchsatzuntersuchungen von biologischen MembrankanälenBaaken, G. / Prucker, O. / Behrends, J. C. / Rühe, J. et al. | 2009
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Nanopositionier- und Nanomessmaschinen – universelle skalenübergreifende Werkzeuge von Makro bis NanoTheska, René / Manske, Eberhard et al. | 2009
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Micro-Electronic Seal - Elektronisches Verschlusssystem für Medikamenten- und ChemiebehältnisseHampicke, Maik / Nachsel, Roman / Pötter, Harald / Ifland, David / Ansorge, Frank / Boeck, Tobias / Eder, Michael et al. | 2009
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Gezielte chemische Stimulation einzelner Tabak Protoplasten mittels hochaufgelöster WirkstoffabgabeWangler, N. / Brett, O. / Laufer, M. / Straßer, M. / Dovzhenko, A. / Voigt, K. / Palme, K. / Daub, M. / Zengerle, R. / Steigert, J. et al. | 2009
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Elektrische Charakterisierung und Bewertung von AVT Materialien für Hochfrequenz / High-Speed AnwendungenGuttowski, Stephan / Maaß, Uwe / Ndip, Ivan / Reichl, Herbert et al. | 2009
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Entwicklung und Evaluierung einer mikrosystem-basierten Anlage zur Kryokonservierung von multizellulären AggregatenMeiser, I. / Wiedemeier, S. / David, K. / Kofanova, O. / Sébastien, I. / Weyand, E. / Metze, J. / Weber, M. M. / Zimmermann, H. et al. | 2009
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Methoden für die Parameteridentifikation und Charakterisierung von mechanischen Spannungen in mikromechanischen ElementenShaporin, Alexey / Schmiedel, Ralf / Mehner, Jan / Billep, Detlef / Sommer, Johann-Peter / Gessner, Thomas et al. | 2009
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Stress Measurement with High Spatial Resolution on microsystem componentsVogel, Dietmar / Michel, Bernd / Gollhardt, Astrid et al. | 2009
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Plasmagestützte Oberflächenmodifizierung in fluidischen Systemen mit gedeckelten KavitätenEichler, Marko / Thomas, Michael / Klages, Claus-Peter et al. | 2009
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Ermittlung der piezoelektrischen Koeffizienten von AlN-Dünnfilmen mit unterschiedlicher KristallorientierungAbabneh, A. / Schmid, U. / Hernando, J. / Sánchez-Rojas, J. L. / Seidel, H. et al. | 2009
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Applikationsbeispiele für Mikrostrukturen in PDMSRiedl, X. / Bolzmacher, C. / Wagner, R. / Bauer, K. / Schwesinger, N. et al. | 2009
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Lokale Plasma-Behandlung in einem Mask Aligner zur selektiven Veränderung der Oberfläche von WafernGabriel, M. / Milde, S. / Eichler, M. / Klages, C.-P. et al. | 2009
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Electrothermal, Easily Handled Silicon Micro GripperHoxhold, Björn / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2009
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Technologien der Mikro-Nano-Integration als Basis für zukünftige High-Tech-ProdukteLang, Klaus-Dieter et al. | 2009
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Anwendungen nanostrukturierter Grenzflächen in Mikrosystemen am Beispiel von Si-Gras und Herausforderungen für die ForschungHoffmann, Martin et al. | 2009
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Charakterisierung eines kapazitiven Positionserfassungssystems für einen Lorentzkraft betriebenen MikroroboterBoese, Christoph / Feldmann, Marco / Büttgenbach, Stephanus et al. | 2009
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Physiologische Assays in einem DVD Player am Beispiel der Messung des HämatokritBurger, J. / Mark, D. / Roth, G. / Müller, C. / Zengerle, R. / Stetten, F. von / Park, Y. et al. | 2009
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Identification of new antibiotics using a microfluidic platformZang, E. / Martin, K. / Henkel, T. / Kielpinski, M. / Wiesmüller, K. H. et al. | 2009
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Kapillares Lösungsmittelkleben mikrofluidischer Chips unter RaumtemperaturFan, Zhiyu / Chen, Pinghai / Ghahremanpour, Mehran / Husta, Filip / Sägebarth, Joachim / Sandmaier, Hermann et al. | 2009
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Ultradünner RF-ID-Chip in Chipfilm(TM)-TechnologieScherjon, C. / Harendt, C. / Engelhardt, T. / Muñoz, P. Muñiz / Kothamasu, M. / Burghartz, J. N. et al. | 2009
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Kontinuierlich arbeitende Mikrofluidik-Plattform zur Aufreinigung von BiomolekülenKarle, Marc / Miwa, Junichi / Roth, Günter / Haeberle, Stefan / Zengerle, Roland / Stetten, Felix von et al. | 2009
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Einfluss der Sputterparameter auf Morphologie, Phasenbildung und elektrische Eigenschaften von dünnen TantalschichtenGrosser, M. / Seidel, H. / Schmid, U. et al. | 2009
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Simulation des Laserabgleichs von Dünnfilmwiderständen mit Widerstandsnetzwerk im SchaltungssimulatorVogt, Holger / Vogt, Hendrik et al. | 2009
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Zur transienten Temperaturentwicklung in einem fluidischen Infrarot- Detektor auf der Basis der infrarotempfindlichen Sensillen des Schwarzen Kiefernprachtkäfers Melanophila acuminataSoltner, H. / Bousack, H. / Schmitz, H. et al. | 2009
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Integration of Microfluidic Features with Microneedle Electrode Arrays for Intracellular Recording ApplicationsHeld, J. / Gaspar, J. / Koester, P. J. / Tautorat, C. / Hagner, M. / Cismak, A. / Heilmann, A. / Baumann, W. / Ruther, P. / Paul, O. et al. | 2009
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Technologie-Plattform für Nukleinsäure basierte Biochip-AnwendungenBönisch, Andreas / Mader, Andreas / Brandstetter, Thomas / Rühe, Jürgen et al. | 2009
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On-Chip PCR – Technologien und AnwendungenHeinrich, E. / Julich, S. / Bähring, F. / Kielpinski, M. / Urban, M. / Henkel, T. et al. | 2009
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Branchenanalyse des Kompetenzfelds „Optische Technologien - Mikrosystemtechnik“ in Berlin-BrandenburgStens, Eberhard / Rössler, Gerrit et al. | 2009
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Die Ausbildung von Mikrotechnologen als Kooperationsschwerpunkt im Zentrum für Mikroproduktion e. V.Kirchhoff, Maren Ramona / Leester-Schädel, Monika et al. | 2009
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Wissenstransfer über Ausbildungsnetzwerke am Beispiel des „Ausbildungsnetzwerk Hochtechnologie Berlin“Schütz, Thorsten et al. | 2009
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Nicht-invasive Signaltransduktion mit Sensorbeads für das toxikologische Screening in der Mikrofluidsegment-TechnikCao, J. / Funfak, A. / Schneider, S. / Wolfbeis, O. S. / Martin, K. / Köhler, J. M. et al. | 2009
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Silizium basier te O2-FET Biosensoren für die zellulär e Diagnostik Silicon-based O2-FET biosensor s for cellular diagnosticsEminaga, Yazay / Wiest, Joachim / Brischwein, Martin / Grothe, Helmut / Wolf, Bernhard et al. | 2009
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Redoxpolymer-basierte Enzymelektroden für Biobrennstoffzellen und BiosensorenBunte, C. / Prucker, O. / Rühe, J. et al. | 2009
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Entwicklungsumgebung für den Entwurf von Lab-on-a-Chip-Systemen für die Tropfenbasierte MikrofluidikGleichmann, Nils / Kielpinski, Mark / Malsch, Daniell / Mayer, Günter / Henkel, Thomas et al. | 2009
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Herstellung von vergrabenen Kanälen für einen MikrogasinjektorFeindt, Holger / Bohne, Sven / Reinert, Aljoscha / Meurer, Jens / Müller, Jörg et al. | 2009
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Schnelle Mischung in Mikrofluidsegmenten für die Herstellung binärer Metall-Nanopartikel mit enger GrößenverteilungKnauer, Andrea / Steinfeld, Norbert / Romanus, Henry / Köhler, J. Michael et al. | 2009
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Weiterbildung zur/zum staatlich geprüften Technikerin/Techniker Mikrotechnologien – Kooperation zwischen Weiterbildungspartner und TechnikerschuleLeester-Schädel, Monika / Knebusch, O. et al. | 2009
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Exakte und reproduzierbare Mikroklebungen für Hybridsysteme durch bauteilintegrierte KlebhilfenWagner, Mario / Böhm, Stefan et al. | 2009
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"Artificial Micro Organs" – dielektrophoretische Zellassemblierung im Mikrofluidiksystem für in vivo ähnliche 3D-Zellkultursysteme für das WirkstoffscreeningSchütte, J. / Angres, B. / Benz, K. / Freudigmann, C. / Hagmeyer, B. / Holzner, F. / Kubon, M. / Böttger, J. / Gebhardt, R. / Becker, H. et al. | 2009
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Elektrodenentwicklung für Cochlea-Implantate zum Erhalt des restlichen Hörvermögens (GentleCI)Majdani, Omid et al. | 2009
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Flexibles Mikroreaktionssystem für die ProzessoptimierungMendl, Alexander / Boskovic, Dusan / Kröber, Hartmut / Türcke, Tobias / Löbbecke, Stefan et al. | 2009
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Segmentierte Prozessführung in mikrofluidischen BauteilenBoskovic, Dusan / Mendl, Alexander / Türcke, Tobias / Schwarzer, Maud / Röseling, Dirk / Löbbecke, Stefan et al. | 2009