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- euv
- extrem ultraviolettstrahlung
- extreme ultraviolet radiation
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- ferne ultraviolettstrahlung
- fernes uv
- fuv
- rontgenultraviolett
- tief ultraviolett
- vacuum ultraviolet radiation
- vakuumultraviolett
- vakuumultraviolettstrahlung
- vuv bereich
- vuv strahlung
- xuv
-
Extreme ultraviolet (EUV) lithography II : 28 February - 3 March 2011, San Jose, California, United States; [the Second SPIE Conference on Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography is part of SPIE advanced lithography] / sponsored by SPIE. Bruno M. La Fontaine, ... ed. ; Pt. 2
TIBKAT | 2011|Keywords: Extremes Ultraviolett -
International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2009 : Prague, Czech Republic, 18 - 21 October 2009 / [Sematech] ; Vol. 2
TIBKAT | 2011|Keywords: Extremes Ultraviolett -
International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2010 : Kobe, Japan, 17 - 20 October 2010 / [Sematech] ; Vol. 1
TIBKAT | 2011|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Verbund: 05P2015 - APPA R&D : Schlussbericht : Förderzeitraum: 01.07.2015-31.12.2018
Free accessTIBKAT | 2019|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Damage to VUV, EUV, and X-Ray Optics VI : 24-25 April 2017, Prague, Czech Republic
TIBKAT | 2017|Keywords: Vakuumultraviolett, Extremes Ultraviolett -
Schlussbericht zum Verbundprojekt "EUV-Lithographie für den 22nm-Knoten (EXEPT)", Teilvorhaben: "Arbeiten an Schlüsseltechnologien zur partikelfreien EUV-Maske" : Laufzeit 01.11.2010 - 31.08.2012
Free accessTIBKAT | 2013|Keywords: Extremes Ultraviolett -
International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2009 : Prague, Czech Republic, 18 - 21 October 2009 / [Sematech] ; Vol. 1
TIBKAT | 2011|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Schlussbericht zum Vorhaben "CATRENE-Projekt EXEPT", BMBF-Verbundprojekt: EUV Lithographie für den 22nm Knoten, Teilvorhaben: Diffraktive optische Elemente für EUV-Prüfoptiken : Laufzeit: 01.05.2009 - 31.05.2012
Free accessTIBKAT | 2013|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Extreme ultraviolet (EUV) lithography II : 28 February - 3 March 2011, San Jose, California, United States; [the Second SPIE Conference on Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography is part of SPIE advanced lithography] / sponsored by SPIE. Bruno M. La Fontaine, ... ed. ; Pt. 1
TIBKAT | 2011|Keywords: Extremes Ultraviolett -
International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2010 : Kobe, Japan, 17 - 20 October 2010 / [Sematech] ; Vol. 3
TIBKAT | 2011|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Oberflächenanalytik mit extrem ultravioletter Strahlung, XUV-Nano : Abschlussbericht zum Teilvorhaben des Laser-Laboratorium Göttingen e.V. ; im Rahmen des InnoNet-Verbundprojekts
Free accessTIBKAT | 2010|Keywords: Extremes Ultraviolett -
EUV Lithographie für den 22 nm Knoten : EUV-Maskenreparatur und lokale Entfernung von Fremdmaterialien durch strahleninduzierte Oberflächenprozesse
Free accessTIBKAT | 2013|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Damage to VUV, EUV, and X-Ray Optics VI : 24-25 April 2017, Prague, Czech Republic
TIBKAT | 2017|Keywords: Vakuumultraviolett, Extremes Ultraviolett -
EUV Lithographie-Optik im Rahmen der Gesamtmaßnahme EUV Lithographie für den 22nm-Knoten : Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.05.2009 - 30.04.2012
Free accessTIBKAT | 2012|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Untersuchung der elektronischen Struktur und Vielteilchen-Dynamik von massenselektierten Clustern mit VUV- und Röntgenstrahlung aus Freie-Elektronen-Lasern, Teilprojekt 1 : Schlussbericht : Förderzeitraum: 01.07.2016-31.12.2019
Free accessTIBKAT | 2020|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Sub-µm-Fokussierungs- und Tieftemperatur-Probenscaneinheit für den spin- und impulsauflösenden Photoemissions-Messplatz ASPHERE III an der XUV-Beamline bei PETRA III : Schlussbericht
TIBKAT | 2017|Keywords: Extremes Ultraviolett -
Simulation EUV Prozesse im Rahmen der Gesamtmaßnahme EUV Lithographie für den 22nm-Knoten : Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.12.2010 - 31.12.2012
TIBKAT | 2013|Keywords: Extremes Ultraviolett
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