Management elektrostatischer Ladungen in Mini-Environments und in reinen Prozesstools (German)
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In:
Reinraumtechnik; Neue Herausforderungen in der Pharma-, Halbleiter- und Nanotechnik
;
141-154
;
2009
-
ISBN:
- Conference paper / Print
-
Title:Management elektrostatischer Ladungen in Mini-Environments und in reinen Prozesstools
-
Contributors:Stengel, T. ( author ) / VDI Gesellschaft Bauen und Gebaudetechnik
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Conference:VDI Tagung; 13, Reinraumtechnik; Neue Herausforderungen in der Pharma-, Halbleiter- und Nanotechnik ; 2009 ; Frankfurt am Main, Germany
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Published in:VDI BERICHTE ; 2083 ; 141-154
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Publisher:
- New search for: VDI
-
Place of publication:Dusseldorf
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Publication date:2009-01-01
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Size:14 pages
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Remarks:Includes bibliographical references; Includes papers in German and English
-
ISBN:
-
Type of media:Conference paper
-
Type of material:Print
-
Language:German
-
Keywords:
-
Source:
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Table of contents conference proceedings
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