Plasmagestütztes Tiefenstrukturieren von Silizium am Beispiel einer piezogetriebenen Mikromembranpumpe — Als Ms. gedr (German)
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1999
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ISBN:
- Theses / Print
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Title:Plasmagestütztes Tiefenstrukturieren von Silizium am Beispiel einer piezogetriebenen Mikromembranpumpe
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Contributors:Feustel, Andreas ( author ) / Müller, Jörg / Bauhofer, Wolfgang ( supervisor ) / Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
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Dissertation:Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1999
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Published in:
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Edition:Als Ms. gedr
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Publisher:
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Place of publication:Aachen
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Publication date:1999
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Size:III, 147 S
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Remarks:21 cm
Ill., graph. Darst -
ISBN:
-
Type of media:Theses
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Type of material:Print
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Language:German
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Keywords:
-
Classification:
BKL: 50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie -
Source: