Mikrolithographische Verfahren auf der Basis von SU-8-Dicklack zur Realisierung mikrooptischer Komponenten (German)
Free access
- New search for: Kang, Won-Jong
- New search for: Kang, Won-Jong
- New search for: Neyer, Andreas
- New search for: Schumacher, Klaus
2005
- Theses / Electronic Resource
-
Title:Mikrolithographische Verfahren auf der Basis von SU-8-Dicklack zur Realisierung mikrooptischer Komponenten
-
Contributors:
-
Publication date:2005-12-21
-
DOI:
-
Type of media:Theses
-
Type of material:Electronic Resource
-
Language:German
- New search for: 620
- Further information on Dewey Decimal Classification
-
Keywords:
-
Classification:
DDC: 620 -
Source: