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Es wurde der Einfluss von Sauerstoff in einer Zerstaeubungsumgebung auf die elektrischen Parameter und Struktur von Tantal-Duennschichten untersucht. Die Ergebnisse der X-Strahlanalyse haben gezeigt, dass bei einer Erhoehung des Sauerstoff-Teildruckes die Tantalstruktur bei einem Druck von 4 x 10(hoch-3) Pa von der alpha- in die beta-Phase uebergeht. Dies wurde durch die Werte des Temperaturkoeffizienten und des spezifischen Widerstandes festgestellt. Die Gitterparameter der alpha- und beta-Phasen stimmen ungefaehr mit denen der Literatur ueberein. Nur bei der Phase beta sind die Werte etwa 1 % groesser als die von Read und Altman. Der moegliche Grund dafuer kann eine Zerstaeubung mit einem anderen Verunreinigungsgrad sein.