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In der Verfahrenstechnik werden an Fertigungsverfahren sehr hohe Ansprueche hinsichtlich der einzuhaltenden Qualitaet und der Genauigkeit der Erzeugnisse gestellt. Anhand von Beispielen aus der Vakuumtechnik werden Einsatzmoeglichkeiten programmierbarer Steuerungen angegeben. Die Anforderungen, die an diese Steuerungen gestellt werden, werden angegeben Der Aufwand fuer die Programmierung komplexer Steuerungssysteme wird beschrieben. Hinsichtlich der Gesamtkosten fuer Steuerungssysteme nehmen die Softwarekosten einen immer hoeher werdenden Anteil ein. Es werden Programmierhilfen fuer die Entlastung von Routinetaetigkeiten vorgeschlagen, deren Kosten beim jetzigen Stand der Technik fuer viele Anwender noch zu hoch sind, durch Einsatz von Mikroprozessoren koennen sich jedoch erhebliche Verbilligungen ergeben.