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Ziel der Arbeit war es die Dichtheit ultradünner monomolekularer Schichten (SAMs) gegen äußere Einflüsse zu untersuchen und durch gezielte Strukturvariationen insbesondere der Kopfgruppe zu optimieren. Dazu wurden verschiedene Anwendungsprobleme aus den Bereichen Korrosionsschutz und Mikroelektronik untersucht. Als eine technisch interessante Oberfläche wurde Indium-Zinn-Oxid (ITO) gewählt, wobei nach der Übertragung der Erkenntnisse auf hydroxylierte Substrate hoch geordnete und dicht gepackte SAMs mit OTS hergestellt werden konnten. Gelbchromatierte Zinkoberflächen wiesen im Salzsprühtest nach der Beschichtung mit OTS eine um das sechsfache gesteigerte Korrosionsbeständigkeit auf. Durch Kathodenzerstäubung hergestellte dünne Filme aus Zinkoxid, welche in CIS-Dünnschicht-Solarmodulen eingesetzt werden, konnten unter vergleichbaren Bedingungen beschichtet werden und brachten eine Verbesserung des Wirkungsgrades um 52%. Bei der Beschichtung der Aluminiumlegierung AlMg3 wurden die auf Silicium erarbeiteten Bedingungen angewandt. Proben mit Hydroxy-terminierten Monoschichten wurden anschließend mit Epoxidharz verklebt. Ein Vergleich zwischen konventionellen Oberflächenvorbehandlungsverfahren und dem mit SAM zeigte eine gute Alterungsperformance der Klebungen der mit SAM beschichteten Fügeteiloberflächen, allerdings bei einer hohen Streuung der Messwerte. Untersucht wurden des weiteren der Einfluss der Kopfgruppen und das elektrische Verhalten mit SAMs beschichteter Oberflächen.