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Es wird ein neuartiger Single-Chip-Hall-Sensor vorgestellt. Durch die Integration einer zusätzlichen ferromagnetischen Schicht können zwei- und dreiachsige Hall-Sensoren realisiert werden. Der Einsatz eines zweiachsigen Sensors für eine genaue und stabile Winkel- und Linearpositionsmessung und die Verwendung eines dreiachsigen Sensors in einem berührungslos arbeitenden Joystick werden beschrieben. Der zweiachsige integrierte Hall-Sensor besteht aus einer Kombination eines CMOS-Hall-Schaltkreises und einer dünnen ferromagnetischen Scheibe. Die ferromagnetische Scheibe wurde auf dem CMOS-Wafer in einem photolithographischen Nachbearbeitungsschritt abgeschieden. Da die Scheibe das extern angewandte Magnetfeld auf die Hall-Elemente konzentriert, wird sie als integrierter magnetischer Konzentrator (IMC) bezeichnet. Zusätzlich funktioniert der IMC als ein passiver magnetischer Verstärker und verbessert enorm die Sensor-Leistungsfähigkeit. Außer für den IMC wird der Sensor ausschließlich mit Hilfe eines Niedrigkosten-Standard-CMOS-Prozess gefertigt. Somit können Standardschaltkreise mit modernerTechnologie auf dem Chip cointegriert werden. Im Zentrum des Sensor-Siliciumchips mit den Abmessungen von ca. 2,7 mm x 1,9 mm befindet sich der IMC, unter der Scheibe befinden sich die Hall-Elemente und um diese herum alle anderen elektronischen Schaltkreise.