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Bei der Untersuchung der technologischen und applikationsspezifischen Aspekte der UV-Tiefenlithographie lag das Hauptaugenmerk auf der Entwicklung und Optimierung von Einzeltechnologien sowie deren Adaption zur Realisierung diverser komplexer Mikrosysteme aus den Bereichen der Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik. Durch neuartige UV-sensitive Photoresiste sowie durch die galvanische Abscheidung von Metallen nebst Metalllegierungen, wie Kupfer, Nickel und Nickeleisen, sind Strukturen mit hohen Aspektverhältnissen und Auflösungen realisiert worden, welche kombiniert in Additivtechnik zum Aufbau der Mikrosysteme genutzt wurden. Ermöglicht wurde dies durch eine akribische Erarbeitung und Optimierung von Prozessparametern sowie durch die Entwicklung reproduzierbarer Prozessketten für die Photoresiste AZ9260, Epon SU-8, CAR44 und der ED-Photoresiste wie InterVia-3D-N und InterVia-3D-P. Ein Ziel war die Entwicklung von Mikroaktoren, insbesondere elektromagnetischer Antriebe, welche sich durch die Art der Energiewandlung in elektromagneto-mechanische und elektrodynamische Mikroaktoren einteilen lassen. Deren prinzipieller Aufbau besteht aus elektrischen Leitern und Spulensystemen, wie z.B. Spiral-, Helix- oder 3D-Mäanderspulen, sowie aus weich- und/oder hartmagnetischen Werkstoffen. Neben der galvanischen Abscheidung der weichmagnetischen Schichten und elektrischen Leiter wurden alternativ so genannte 'Polymermagnete' entwickelt, deren prozesstechnische Parameter und magnetische Eigenschaften verifiziert und auf die Prozessketten der Mikroaktoren adaptiert werden konnten. Im Einzelnen wurden 'Tauchspulaktoren', 'Lorentzkraftaktoren' und 'Horizontalaktoren' konzipiert, realisiert sowie systematisch charakterisiert und getestet. Durch eine kontinuierliche Weiterentwicklung und Umsetzung alternativer Antriebskonzepte konnten darüber hinaus komplexe Mikroroboter und Mikromotoren verwirklicht und deren Funktionsweisen erfolgreich bestätigt werden. Im Bereich der Mikrosensorik ist ein 'optisches Mikrofon' entwickelt worden, bei dem die Schwingungen einer Membran unter Verwendung von Licht detektiert werden.