Properties of SiCN coatings for high temperature applications - Comparison of RF-, DC- and HPPMS-sputtering (English)
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In:
AEPSE, Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, 7
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S21-S27
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2011
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ISSN:
- Conference paper / Print
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Title:Properties of SiCN coatings for high temperature applications - Comparison of RF-, DC- and HPPMS-sputtering
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Additional title:Eigenschaften von SiCN-Beschichtungen für Hochtemperaturanwendungen - Vergleich von Hochfrequenzsputtern, Gleichstromsputtern und gepulstem Hochleistungsmagnetronsputtern
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Contributors:Hoche, Holger ( author ) / Pusch, Casper ( author ) / Riedel, Ralf ( author ) / Fasel, Claudia ( author ) / Klein, Andreas ( author )
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Published in:Surface and Coatings Technology ; 205, Supplement 1 ; S21-S27
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Publisher:
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Publication date:2011
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Size:7 Seiten, 4 Bilder, 5 Tabellen, 34 Quellen
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ISSN:
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Coden:
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DOI:
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Type of media:Conference paper
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Type of material:Print
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Language:English
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Keywords:amorphe dünne Schicht , Siliciumcarbonitrid , chemische Zusammensetzung , Magnetronzerstäubung , Hybridtechnik , Methodenvergleich , Verfahrensschema , Verfahrensbedingung , Stahlsubstrat , Siliciumsubstrat , Schichtdicke , Konzentrationsverteilung , Vickers-Härte , Nanoeindringprüfung , Elastizitätsmodul , thermogravimetrische Analyse , Differenzialthermoanalyse , Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie , Raman-Spektrometrie , Röntgenphotoelektronenspektroskopie , Glimmentladungsspektrometrie , Hochtemperaturwerkstoff , Tagungsbericht
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Source: