Characterization of organometallic polymers generated post RIE/ECR etching followed by in-situ microwave ashing (English)
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In:
Microelectronic Processes, Sensors, and Controls, 1
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279-286
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1994
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ISSN:
- Conference paper / Print
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Title:Characterization of organometallic polymers generated post RIE/ECR etching followed by in-situ microwave ashing
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Additional title:Charkaterisierung eines aus reaktivem Ionenätzen und Ätzen mit Elektrozyklofluoreszenz entstandenen organometallischen Polymers, das einer in-situ-Veraschung mit Mikrowellen ausgesetzt wird
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Contributors:Switalski, D. ( author ) / Solis, R. ( author )
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Published in:
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Publisher:
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Publication date:1994
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Size:8 Seiten, 7 Bilder
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ISSN:
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Coden:
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DOI:
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Type of media:Conference paper
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Type of material:Print
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Language:English
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Keywords:Polymerisat , metallorganische Verbindung , Titan , Wolfram , Aluminium , Kupfer , reaktives Ionenätzen , Plasmaätzen , Zyklotronresonanz , Mikrowellenofen , Metallschicht , Mehrschichtschaltung , Oxidschicht , Silicium , Produktivität , Photolack , Oxidation , Zeitverhalten , Schichtdicke , selektives Ätzen , Ionenstrahlätzen , Plasma , Ätzen
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Source: