Präzisionstrennschleifen von Halbleitersubstratscheiben (German)
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In:
Tagung der VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB), Bearbeitung neuer Werkstoffe, 1996
;
383-396
;
1996
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ISBN:
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ISSN:
- Conference paper / Print
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Title:Präzisionstrennschleifen von Halbleitersubstratscheiben
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Contributors:Tönshoff, H.K. ( author ) / Hartmann, M. ( author )
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Published in:VDI-Berichte ; 1276 ; 383-396
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Publisher:
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Place of publication:Düsseldorf
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Publication date:1996
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Size:14 Seiten, 10 Bilder, 1 Tabelle, 17 Quellen
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ISBN:
-
ISSN:
-
Type of media:Conference paper
-
Type of material:Print
-
Language:German
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Keywords:
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Source:
Table of contents conference proceedings
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Neue Werkstoffe und ihre BearbeitungKlocke, F. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Machining of Advanced Ceramics - Overview of Grinding Technologies in JapanNakagawa, T. / Unno, K. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Ceramic Machining Research in the United StatesJahanmir, S. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 53
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Methoden und Probleme bei der Praezisionsbearbeitung kleiner KeramikformstueckeKacalak, W. / Lewkowicz, R. / Dziura, Z. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 53
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Methoden und Probleme bei der Präzisionsbearbeitung kleiner KeramikformstückeKacalak, W. / Lewkowicz, R. / Dziura, Z. et al. | 1996
- 75
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Neue Werkstoffe erobern die AnwendungVerlemann, E. / Wagemann, A. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Werkstoffentwicklung und konstruktive Anwendungen von Siliciumnitrid-HochleistungskeramikWoetting, G. / Leimer, G. / Gugel, E. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 105
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Wälzlager aus Hochleistungskeramik: High-tech in Anwendung und BearbeitungWemhöner, J. et al. | 1996
- 105
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Waelzlager aus Hochleistungskeramik: High-tech in Anwendung und BearbeitungWemhoener, J. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Schleifscheiben zur Bearbeitung von HochleistungskeramikKoch, N. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Mechanismen des Materialabtrags beim Schleifen von HochleistungskeramikJahanmir, S. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 175
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Process Modeling by means of Molecular Dynamics (MD)Rentsch, R. G. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 197
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Application of Simulation Technologies for Grinding OperationsInasaki, I. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 213
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Herausforderungen an moderne Schneidstoffe durch neue MaterialienDoepper, W. / Momper, F. J. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 229
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Mikrozerspanung duktiler und spröder Werkstoffe in optischer QualitätBrinksmeier, E. / Malz, R. / Riemer, O. et al. | 1996
- 229
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Mikrozerspanung duktiler und sproeder Werkstoffe in optischer QualitaetBrinksmeier, E. / Malz, R. / Riemer, O. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 245
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The Machinability Variations of Extruded Aluminium Alloys and the Role of Composition and HardnessChandrasekaran, H. / Stenqvist, T. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Feinbearbeitung von HochleistungskeramikKarpuschewski, B. / Lierse, T. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 275
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Kühlschmierung beim Schleifen keramischer WerkstoffeSpur, G. / Brücher, T. / Liebe, I. et al. | 1996
- 275
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Kuehlschmierung beim Schleifen keramischer WerkstoffeSpur, G. / Bruecher, T. / Liebe, I. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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EDM of Advanced Ceramics - From Finish Machining to Machining Insulating Ceramics -Mohri, N. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Laser Assisted Grinding of CeramicsMarinescu, I. D. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 305
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Druckgiessen von Magnesium mit spanender Bearbeitung und SicherheitsvorkehrungenSchwaiger, H. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 305
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Druckgießen von Magnesium mit spanender Bearbeitung und SicherheitsvorkehrungenSchwaiger, H. et al. | 1996
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Bearbeitung von Leichtbauwerkstoffen aus Sicht eines WerkzeugmaschinenherstellersDenkena, B. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Metallische Verbundwerkstoffe (MMC's): Potential, Werkstoffe und EntwicklungsrichtungenKainer, K. U. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Herstell- und Verarbeitungstechniken von partikelverstaerkten AluminiumlegierungenSchoberth, A. / Rauh, R. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Herstell- und Verarbeitungstechniken von partikelverstärkten AluminiumlegierungenSchoberth, A. / Rauh, R. et al. | 1996
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Machining of MMC'sNarutaki, N. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Machining and Dicing of SiliconDanyluk, S. / Ebbutt, R. / Weisshaus, I. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Praezisionstrennschleifen von HalbleitersubstratscheibenToenshoff, H. K. / Hartmann, M. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Präzisionstrennschleifen von HalbleitersubstratscheibenTönshoff, H.K. / Hartmann, M. et al. | 1996
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Global Planarization of Device Patterned Si WafersJeong, H. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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New Technologies in Forming of Ceramics - Near Net Shape Forming For Ceramic Powder -Nakagawa, T. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Machining of Semi-Sintered Zirconia and its Full-Sintering for Final ShapeKato, K. / Shyu, C. S. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Diamant- und CBN-Feinschleifen auf Maschinen mit LäppkinematikDennis, P. / Mackensen, V. von et al. | 1996
- 435
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Diamant- und CBN-Feinschleifen auf Maschinen mit LaeppkinematikDennis, P. / Mackensen, V. V. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Zur Bearbeitbarkeit verschiedener Aluminiummatrix-VerbundwerkstoffeDegischer, H.-P. / Feuchtenschlager, F. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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On the Behaviour of Fibre/Particle Reinforced Aluminium Alloy Matrix Composites in Milling and GrindingChandrasekaran, H. / Johansson, J.-O. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Schneidstoffe für die Bearbeitung von Metallmatrix-VerbundwerkstoffenWeinert, K. / Biermann, D. et al. | 1996
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Schneidstoffe fuer die Bearbeitung von Metallmatrix-VerbundwerkstoffenWeinert, K. / Biermann, D. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Bearbeitung von Nickelbasissuperlegierungen fuer GasturbinenSpur, G. / Meier, A. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Bearbeitung von Nickelbasissuperlegierungen für GasturbinenSpur, G. / Meier, A. et al. | 1996
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Bearbeitung von Nickelbasislegierungen am Beispiel einer TriebwerkskomponenteTreffert, C. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Bearbeiten von Hartlegierungen aus werkstofftechnischer SichtTheisen, W. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Development of New Magnetic Abrasive Polishing for Advanced MaterialsSuzuki, K. / Uematsu, T. / Makizaki, T. / Kitajima, T. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Bauteil- und Prozessgestaltung als ganzheitliche Aufgabe beim Einsatz keramischer WerkstoffeWarnecke, G. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 551
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Bauteil- und Prozeßgestaltung als ganzheitliche Aufgabe beim Einsatz keramischer WerkstoffeWarnecke, G. et al. | 1996
- 571
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Qualitaetssicherung und Prozessbeherrschung in der Serie keramischer BauteileEversheim, W. / Wengler, M. / Von Haacke, U. / Ruska, J. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Qualitätssicherung und Prozeßbeherrschung in der Serie keramischer BauteileEversheim, W. / Wengler, M. / Haacke, U. von / Ruska, J. / Thimm, A. et al. | 1996
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Characterization and Assessment of Machined Ceramic SurfacesPfeiffer, W. / Hollstein, T. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
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Effect of Grinding on Strength of a Sintered Reaction Bonded Silicon NitrideJahanmir, S. / Ives, L. K. / Gill, L. / Filliben, J. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 617
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Optimierung der Schleifprozesse schwerzerspanbarer Werkstoffe bei niedrigen Temperaturen und im VakuumKacalak, W. / Lewkowicz, R. / Balasz, B. / Zawadka, W. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 641
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TiAl als Konstruktionswerkstoff und dessen spanende Bearbeitung am Beispiel hochbelasteter Komponenten in FluggasturbinenEckstein, M. / Smarsy, W. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 655
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Utra high Speed Milling of Quenched Die SteelMatsuoka, T. / Takahashi, I. / Anzai, M. / Nakagawa, T. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 671
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HSC-Fraesen und Controlled Metal Build-up in verguetetem StahlRoeders, J. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 687
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High Speed Milling on Quenched SteelSato, M. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996
- 699
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Anforderungen neuer Werkstoffe an die WerkzeugmaschineWeck, M. / Marpert, M. / VDI-Gesellschaft Produktionstechnik (ADB) et al. | 1996