Besonderheiten mikrotechnischer Ätzprozesse (German)
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In:
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
;
5-32
;
1998
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ISBN:
- Article/Chapter (Book) / Electronic Resource
-
Title:Besonderheiten mikrotechnischer Ätzprozesse
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Contributors:Köhler, Michael ( author )
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Published in:
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Publisher:
- New search for: Wiley‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA
-
Place of publication:Weinheim, FRG
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Publication date:1998-02-26
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Size:28 pages
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ISBN:
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DOI:
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Type of media:Article/Chapter (Book)
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Keywords:
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Source:
Table of contents eBook
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EinführungKöhler, Michael et al. | 1998
- 5
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Besonderheiten mikrotechnischer ÄtzprozesseKöhler, Michael et al. | 1998
- 33
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Naßätzverfahren: Abschnitte 3.1 ‐ 3.4Köhler, Michael et al. | 1998
- 96
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Naßätzverfahren: Abschnitte 3.5 ‐ 3.6Köhler, Michael et al. | 1998
- 127
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TrockenätzverfahrenKöhler, Michael et al. | 1998
- 199
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Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem MaterialKöhler, Michael et al. | 1998
- 207
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Ausgewählte VorschriftenKöhler, Michael et al. | 1998
- 371
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LiteraturKöhler, Michael et al. | 1998
- 387
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SachverzeichnisKöhler, Michael et al. | 1998
- i
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Front MatterKöhler, Michael et al. | 1998