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- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
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Exploring electron beam induced surface activation for the fabrication of well-defined nanostructures : on the role of catalytic processes, substrates and precursors
TIBKAT | 2015|Keywords: Elektronenstrahllithografie -
New Convex Grating Types Manufactured by Electron Beam Lithography
NTRS | 1998|Keywords: electron beam lithography high-performance blazed gratings -
Plasmonic Nanostructures: 3D Nanostar Dimers with a Sub‐10‐nm Gap for Single‐/Few‐Molecule Surface‐Enhanced Raman Scattering (Adv. Mater. 15/2014)
Wiley | 2014|Keywords: electron‐beam lithography -
Surface roughness of hydrogen silsesquioxane as a negative tone electron beam resist
Elsevier | 2004|Keywords: Electron beam lithography -
Straightforward fabrication of sub-10 nm nanogap electrode pairs by electron beam lithography
Elsevier | 2022|Keywords: electron beam lithography -
The fabrication of 3-D nanostructures by a low- voltage EBL
Elsevier | 2010|Keywords: Electron beam lithography -
Submicrometer Functionalization of Porous Silicon by Electron Beam Lithography
Wiley | 2003|Keywords: Electron beam lithography, of porous silicon -
Entwicklung und Untersuchung eines Feldemitter-Kathodenarray mit einzeln adressierbaren, im fokussierten Elektronenstrahl direkt abgeschiedenen Emissionsspitzen
TIBKAT | 2006|Keywords: Elektronenstrahllithografie -
Development of RAC devices fabricated using e-beam lithography for chirp transform spectrometers
TIBKAT | 2010|Keywords: Elektronenstrahllithografie -
Projekt: Photonische Nanomaterialien : Kurzname: PhoNa : Abschlussbericht : Laufzeit: 01.12.2009-30.11.2014
TIBKAT | 2015|Keywords: Elektronenstrahllithografie -
TPI: Photonmanagement mit photonischen Nanomaterialien in optoelektronischen Systemen sowie Effizienzsteigerung photovoltaischer Elemente mit nanostrukturierten photonischen Materialien, TPII: Verstärkung der Raman-Streuung von in detergenz solubilisierten optisch aktiven Membranproteinen durch photonische Nanomaterialien und deren Anwendung in Einzelmolekülstudien : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 1.12.2009-30.11.2014
TIBKAT | 2015|Keywords: Elektronenstrahllithografie -
Fabrication and magnetic force microscopy (MFM) observation of nano scale ferromagnetic nanodot arrays
Online Contents | 2005|Keywords: electron beam lithography -
Development and irradiation performance of stencil masks for heavy-ion patterned implantation
Elsevier | 2011|Keywords: Electron beam lithography -
Projekt: Photonische Nanomaterialien : Kurzname: PhoNa : Abschlussbericht : Laufzeit: 01.12.2009-30.11.2014
Free accessTIBKAT | 2015|Keywords: Elektronenstrahllithografie -
TPI: Photonmanagement mit photonischen Nanomaterialien in optoelektronischen Systemen sowie Effizienzsteigerung photovoltaischer Elemente mit nanostrukturierten photonischen Materialien, TPII: Verstärkung der Raman-Streuung von in detergenz solubilisierten optisch aktiven Membranproteinen durch photonische Nanomaterialien und deren Anwendung in Einzelmolekülstudien : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 1.12.2009-30.11.2014
Free accessTIBKAT | 2015|Keywords: Elektronenstrahllithografie -
Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke
TIBKAT | 2011|Keywords: Elektronenstrahllithografie -
Electron beam lithography developed resist profile improved by quality analysis
Elsevier | 2004|Keywords: Electron beam lithography -
Antireflective structure imprinted on the surface of optical glass by SiC mold
Elsevier | 2008|Keywords: Electron beam lithography -
Analog diffractive optics on flat and non-flat substrates: electron-beam fabrication and applications
NTRS | 2003|Keywords: diffractive optics electron-beam lithography spectral imaging fluid sensors -
Process simulation at electron beam lithography on different substrates
Elsevier | 2006|Keywords: Electron beam lithography
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