Ultra thin semiconductor substrates (German)
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In:
Berg- und Huttenmannischer Tag; Freiberger Siliciumtage 2003 Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik Freiberger Forschungsforum,54. Berg- und Huttenmannischer Tag 2003
;
120-124
;
2004
-
ISBN:
- Conference paper / Print
-
Title:Ultra thin semiconductor substrates
-
Contributors:Bollmann, D. ( author ) / Kothe, O. ( author ) / Landesberger, C. ( author ) / Moller, H.-J. / Roewer, G.
-
Conference:54, Berg- und Huttenmannischer Tag; Freiberger Siliciumtage 2003 Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik Freiberger Forschungsforum,54. Berg- und Huttenmannischer Tag 2003 ; 2003 ; Freiberg, Germany
-
Published in:FREIBERGER FORSCHUNGSHEFTE B ; 120-124
-
Publisher:
- New search for: Technische Universitat Bergakademie Freiberg
-
Publication date:2004-01-01
-
Size:5 pages
-
Remarks:Text in German and English
-
ISBN:
-
Type of media:Conference paper
-
Type of material:Print
-
Language:German
-
Keywords:
-
Source:
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Table of contents conference proceedings
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Stoffkreisläufe in der PhotovoltaikWambach, K. et al. | 2003
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Stoffkreislaufe in der PhotovoltaikWambach, K. et al. | 2004
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Gewinnung von Precursor-Verbindungen zur ReinstsiliciumherstellungAcker, J. / Roewer, G. / Rover, I. / Bohmhammel, K. et al. | 2004
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Automatische Optimierung von Festphasenbildungsprozessen bei der Abscheidung von ReinstsiliziumKummel, R. / Blomer, J. / Hediger, F. / Laqua, R. / Back, T. / Emmerich, M. et al. | 2004
- 44
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Kostensenkungspotentiale in der PhotovoltaikMuller, A. / Ghosh, M. / Woditsch, P. et al. | 2004
- 56
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Moglichkeiten und Grenzen numerischer Simulation bei der KristallzuchtungFranke, D. et al. | 2004
- 56
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Möglichkeiten und Grenzen numerischer Simulation bei der KristallzüchtungFranke, D. et al. | 2003
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Nachhaltige Solarzellen-Produktion im industriellen MaßstabLüdemann, R. / Magnucz, P. / Neuhaus, D.H. / Peters, S. / Klebensberger, B. / Vonderstrass, T. et al. | 2003
- 68
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Nachhaltige Solarzellen-Produktion im industriellen MassstabLudemann, R. / Magnucz, P. / Neuhaus, D.-H. / Peters, S. / Klebensberger, B. / Vonderstrass, T. et al. | 2004
- 77
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The thick film front contact: Fundamentals and DevelopmentsSchubert, G. / Fischer, B. / Huster, F. / Fath, P. et al. | 2004
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Die minimal erzielbare Rekombinationsaktivitat von Versetzungen in Silicium: Schlussfolgerungen fur Solarzellen und fur perspektivische auf Si basierende Lichtemitter (Abstract)Kittler, M. / Seifert, W. et al. | 2004
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Ortsaufgeloste Messung der Minoritatsladungstragerlebensdauer bei Siliziumsolarzellen mittels MW-PCDMrwa, A. / Erler, K. / Diefenbach, K. H. / Denissov, S. / Ebest, G. et al. | 2004
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Ortsaufgelöste Messung der Minoritätsladungsträgerlebensdauer bei Siliziumsolarzellen mittels MW-PCDMrwa, A. / Erler, K. / Diefenbach, K.H. / Denissov, S. / Ebest, G. et al. | 2003
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Cost vs. Benefit and Other Factors for the Successful Implementation of New Wafer TypesBergholz, W. / Wittmann, J. / Tews, H. / Fehlhaber, R. et al. | 2004
- 120
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Ultra thin semiconductor substratesBollmann, D. / Kothe, O. / Landesberger, C. et al. | 2004
- 125
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Mikrostrukturierte Siliziumchips für Anwendungen in Biotechnologie und ChemieKöhler, J.M. / Albert, J. / Mayer, G. et al. | 2003
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Mikrostrukturierte Siliziumchips fur Anwendungen in Biotechnologie und ChemieKohler, J. M. / Albert, J. / Mayer, G. et al. | 2004
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Polierverfahren in der HalbleiterfertigungPfitzner, L. / Bar, E. / Frickinger, J. / Nguyen, H. / Nutsch, A. et al. | 2004
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Reinigung von Siliciumoberflachen: Aspekte von Reinigungslosungen mit KomplexbildnernDoll, O. / Metzger, S. / Kolbesen, B. O. et al. | 2004
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Überblick über Reinigungs- und Ätztechnologien für die Herstellung von Siliziumwafern - Nasschemische Verfahren und alternative MethodenBauer, T. / Fabry, L. et al. | 2003
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Reaktivitat des Siliciums in wassrigen Losungen - Grundlage des Atzens und Polierens von WafernRover, I. / Roewer, G. / Bohmhammel, K. / Wambach, K. et al. | 2004
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Neuere Entwicklung auf dem Gebiet der DrahtsagetechnologiePauli, P. et al. | 2004
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Nanohartemessungen an HalbleitermaterialienWolf, B. / Richter, A. et al. | 2004
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Bestimmung von Spurenelementen in hochreinem Siliciumcarbid mittels ETV-ICP-OESBertram, R. / Siche, D. / Hassler, J. / Perzl, P. R. et al. | 2004
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Theoretische Grundlagen fur die Konstruktion von Flotationsanlagen zur Entfernung von FeinstpartikelnGentsler, G. L. / Brautigam, B. et al. | 2004
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Beruhrungslose defektspezifische Topographie von Silicium-WafernDornich, K. / Hahn, T. / Niklas, J. R. et al. | 2004
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Photoscanning - Magnetfeldtopographie zur kontaktlosen Strommessung an Kristallen, Wafern und SolarzellenSchurig, T. / Beyer, J. / Drung, D. / Ragusch, D. / Moller, H. J. / Soyka, E. / Buchwald, R. / Ludge, A. / Riemann, H. et al. | 2004