Ätzverfahren für die Mikrotechnik (German)
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1998
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ISBN:
- Book / Print
-
Title:Ätzverfahren für die Mikrotechnik
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Contributors:Koehler, Michael ( author ) / Köhler, Michael
-
Publisher:
- New search for: Wiley-VCH
-
Place of publication:Weinheim , New York , Chichester , Brisbane , Singapore , Toronto
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Publication date:1998
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Size:XVI, 398 S.
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Remarks:Ill., graph. Darst.
Engl. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Etching in microsystem technology
Digital preservation by Badische Landesbibliothek -
ISBN:
-
Type of media:Book
-
Type of material:Print
-
Language:German
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-
Keywords:
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Classification:
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Source:
Table of contents eBook
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EinführungKöhler, Michael et al. | 1998
- 5
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Besonderheiten mikrotechnischer ÄtzprozesseKöhler, Michael et al. | 1998
- 33
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Naßätzverfahren: Abschnitte 3.1 ‐ 3.4Köhler, Michael et al. | 1998
- 96
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Naßätzverfahren: Abschnitte 3.5 ‐ 3.6Köhler, Michael et al. | 1998
- 127
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TrockenätzverfahrenKöhler, Michael et al. | 1998
- 199
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Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem MaterialKöhler, Michael et al. | 1998
- 207
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Ausgewählte VorschriftenKöhler, Michael et al. | 1998
- 371
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LiteraturKöhler, Michael et al. | 1998
- 387
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SachverzeichnisKöhler, Michael et al. | 1998
- i
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Front MatterKöhler, Michael et al. | 1998