Züchtung von Silizium-Einkristallen mit 300 mm Durchmesser. Eine Herausforderung für Technologie und Equipment (German)
- New search for: Altekrüger, B.
- New search for: Gier, M.
- New search for: Altekrüger, B.
- New search for: Gier, M.
In:
Vakuum in Forschung und Praxis
;
11
, 1
;
31-36
;
1999
-
ISSN:
- Article (Journal) / Print
-
Title:Züchtung von Silizium-Einkristallen mit 300 mm Durchmesser. Eine Herausforderung für Technologie und Equipment
-
Contributors:Altekrüger, B. ( author ) / Gier, M. ( author )
-
Published in:Vakuum in Forschung und Praxis ; 11, 1 ; 31-36
-
Publisher:
-
Publication date:1999
-
Size:6 Seiten, 4 Bilder
-
ISSN:
-
Coden:
-
DOI:
-
Type of media:Article (Journal)
-
Type of material:Print
-
Language:German
-
Keywords:
-
Source:
Table of contents – Volume 11, Issue 1
The tables of contents are generated automatically and are based on the data records of the individual contributions available in the index of the TIB portal. The display of the Tables of Contents may therefore be incomplete.
- 3
-
EditorialScherle, Johann et al. | 1999
- 6
-
Deutsche Vakuum‐Gesellschaft e.V. (DVG)| 1999
- 10
-
Geschafts- und Tätigkeitsbericht der Fördergemeinschaft "Dunne Schichten" eV 1998| 1999
- 10
-
Geschäfts‐ und Tätigkeitsbericht der Fördergemeinschaft „Dünne Schichten”︁ e.V. 1998| 1999
- 14
-
Unternehmen und Personen| 1999
- 19
-
Flache Bildschirme — Ein ÜberblickReuschling, R. et al. | 1999
- 21
-
Mechanische, chemo‐mechanische und optische OberflächenprüfungWeinhold, Wolfgang P. et al. | 1999
- 25
-
Arc Evaporation — An OverviewPulker, Hans K. et al. | 1999
- 27
-
Nanotribologie: Messung von mechanischen Eigenschaften im Sub‐Mikrometer‐BereichHangen, Ude D. et al. | 1999
- 31
-
Züchtung von Silizium-Einkristallen mit 300 mm Durchmesser. Eine Herausforderung für Technologie und EquipmentAltekrüger, B. / Gier, M. et al. | 1999
- 31
-
Züchtung von Silizium‐Einkristallen mit 300 mm DurchmesserAltekrüger, Burkhard / Gier, Martin et al. | 1999
- 37
-
PhotoemissionselektronenmikroskopieHoffmann, Patrick / Mikalo, Ricardo Pablo / Schmeißer, Dieter et al. | 1999
- 42
-
Aus der Forschung - MECHANICAL STRESS IN VAPOR DEPOSITED THIN FILMSPULKER, H.K. et al. | 1999
- 42
-
Mechanical Stress in Vapour Deposited Thin FilmsPulker, Hans K. et al. | 1999
- 42
-
Mechanical stress in vapour deposited thin films. Intrinsic stresses in metal and compound filmsPulker, H.K. et al. | 1999
- 48
-
Produkte und Verfahren| 1999
- 51
-
Forschung und Entwicklung| 1999
- 52
-
Gesehen und Gelesen| 1999
- 52
-
Buchhinweis| 1999
- 53
-
TagungsberichtOechsner, H. et al. | 1999
- 54
-
Ausstellungen und Vorträge| 1999
- 55
-
Bezugsquellenverzeichnis| 1999
- 59
-
Impressum-Inserentenverzeichnis| 1999
- fmi
-
Masthead| 1999